光學(xué)干涉法測(cè)量表面粗糙度的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文簡(jiǎn)要介紹了表面粗糙度的基礎(chǔ)知識(shí),對(duì)傳統(tǒng)的觸針?lè)y(cè)量表面粗糙度進(jìn)行了簡(jiǎn)介,對(duì)現(xiàn)已提出的利用光學(xué)原理測(cè)量表面粗糙度的方法進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。提出了一種新穎的利用偏振干涉原理測(cè)量表面粗糙度的方法,其特點(diǎn)是利用半波片和1/4波片來(lái)改變光束的偏振態(tài),使干涉信號(hào)最強(qiáng)。依據(jù)偏振光學(xué)理論并采用瓊斯矩陣對(duì)該方法進(jìn)行了理論推導(dǎo)、對(duì)采用該法時(shí)由于光功率計(jì)有限的精度引起的測(cè)量不確定度進(jìn)行了分析、采用該法利用穩(wěn)頻穩(wěn)功率激光器及高穩(wěn)定光功率計(jì)針對(duì)某一粗糙度標(biāo)準(zhǔn)量

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