[雙語(yǔ)翻譯]外文翻譯--樹(shù)脂粘度與壓印壓力模式之間的相關(guān)關(guān)系（譯文）

1、中文 中文 2800 字， 字，1800 英文單詞， 英文單詞，9800 英文字符 英文字符文獻(xiàn)出處： 文獻(xiàn)出處：Jang S, Lee J G, Lee H. Correlation between resin viscosity and imprinting pressure mode[J]. Electronic Materials Letters, 2013, 9(6):793-796.樹(shù)脂粘度與壓印壓力模式之間的相關(guān)關(guān)系Si

2、youl Jang，Jae-Gab Lee 和 Heon Lee機(jī)械和自動(dòng)化工程學(xué)院，kookmin 大學(xué)，首爾 136-702。韓國(guó)國(guó)民大學(xué)韓國(guó)先進(jìn)材料工學(xué)院 136702 韓國(guó)韓國(guó)先進(jìn)材料工程學(xué)校韓國(guó)大學(xué)韓國(guó)首爾 136-701 韓國(guó)（收到日期：2012 年 10 月 13 日/接受日期：2013 年 7 月 9 日/發(fā)布日期：2013 年 11 月 10 日）摘要： 摘要：期間的變化通過(guò)改變樹(shù)脂粘度和印跡壓力模式來(lái)

3、研究印跡過(guò)程。 如果要求壓印過(guò)程達(dá)到所建議的剩余樹(shù)脂厚度或開(kāi)口水平，則應(yīng)根據(jù)壓印壓力的大小和速率 指定適當(dāng)?shù)墓に囍芷?，因?yàn)槭Ｓ鄬雍穸龋≧LT）受這些因素的顯著影響。此外，樹(shù)脂粘度對(duì) RLT 變化的影響與印刻壓力模式相同。使用具有圖案密度為 12.03％的重復(fù)橢圓突起的模具進(jìn)行數(shù)值模擬，以確定所考慮的過(guò)程因素對(duì)壓印過(guò)程周期的影響。關(guān)鍵詞： 關(guān)鍵詞：剩余層厚度，壓印壓力，潤(rùn)滑，開(kāi)口水平 1 引言 引言印刷廣泛應(yīng)用于各種制造工藝中，

4、近年來(lái)大量生產(chǎn)應(yīng)用中其生產(chǎn)效率的重要性日益突 出。已經(jīng)通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明，uv 壓印的處理時(shí)間取決于樹(shù)脂粘度，以及 uv 固化之前壓印壓力的 大小和速率。（壓力模式）的殘留層厚度（rlt），樹(shù)脂粘度和壓印壓力模式是決定加工時(shí)間 的主要工藝因素。[1]特別是樹(shù)脂的粘度不僅直接影響模具設(shè)計(jì)的圖案密度和突起比，而且還 會(huì)影響壓印模式，在亞微米級(jí)紫外線高壓粘合樹(shù)脂的薄膜狀態(tài)下，流動(dòng)阻力很高，這是由于 薄膜機(jī)制，保證高壓印壓力，最終導(dǎo)致霉變。[2]特

5、別是在零殘留層壓印時(shí)，壓印壓力保持很 長(zhǎng)時(shí)間，從而增加了模具變形的可能性。避免這種情況，模具尺寸應(yīng)該更小，它的一致性必 須提高，以形成均勻性。[3-6]關(guān)于 uv 樹(shù)脂在模腔中的粘性行為必須增加順應(yīng)性，大多數(shù)模擬研究?jī)H僅選擇了不變的 壓印速度，恒定的施加壓印壓力和恒定的力，這對(duì)于面印記系統(tǒng)是不可能的。[6]作為對(duì)應(yīng)作 者的窗口打開(kāi)過(guò)程，由達(dá)到零 rlt 的壓印壓力和樹(shù)脂粘度兩者所控制，可以通過(guò)改變所施加 的壓印壓力來(lái)操縱。但是，一旦

6、設(shè)備啟動(dòng)，大多數(shù)壓印機(jī)都不能在直接模式下施加所需的壓 印壓力。在最近的模擬研究過(guò)程[6-7]中，壓印壓力逐漸增加到其最終值。通過(guò)考慮優(yōu)化模具表面 上的凹凸分布來(lái)計(jì)算壓印過(guò)程中的變化。樹(shù)脂粘度是最重要的印記過(guò)程參數(shù)之一，在薄膜狀 態(tài)下被認(rèn)為是非常高的，例如-10spas 的數(shù)值分析。在本研究中，使用重復(fù) 2-d 模式特征，模擬了基于壓印模式和樹(shù)脂粘度的樹(shù)脂壓力發(fā)展和在壓印過(guò)程中的變化。結(jié)果顯示在不同印跡條件下 rlt 變化有明顯差異。

7、2 在紫外壓印系統(tǒng)中不同的樹(shù)脂粘度下的變化 在紫外壓印系統(tǒng)中不同的樹(shù)脂粘度下的變化樹(shù)脂粘度被控制到很?。?10mpas），以便確保腔體的快速和完全填充以及在短的處 理時(shí)間內(nèi)將樹(shù)脂分配在基板上。但是，由于薄膜效應(yīng)，目標(biāo)具有非常高的粘度（例如-10“帕）， 為了在薄膜狀態(tài)下達(dá)到壓印樹(shù)脂粘度的適當(dāng)值，[9]可以測(cè)量 rlt 作為固定施加載荷下的印刷 處理時(shí)間的函數(shù)如果毛細(xì)管力在相對(duì)較高的壓印壓力下不占優(yōu)勢(shì)，則樹(shù)脂粘度成為控制壓印 時(shí)間的主

8、要因素之一。[3] 如果毛細(xì)管力在相對(duì)較高的壓印壓力下不占主導(dǎo)地位，則樹(shù)脂粘度成為控制壓印時(shí)間的主要因素之一，rlt 由 Stephens 公式（1）[3]表示，i 不穩(wěn)定壓印壓力，其中 h0，η0，s 和 p 分別 是初始樹(shù)脂層，零剪切粘度，突起部分和壓印壓力。該方程表明樹(shù)3 rlt rlt 和流體樹(shù)脂壓力發(fā)展的計(jì)算結(jié)果 和流體樹(shù)脂壓力發(fā)展的計(jì)算結(jié)果具有亞微米級(jí)的薄膜的粘度增加 3-5 級(jí)?；谝郧暗难芯縖6-9]結(jié)果，“我們

9、選擇 104-105 帕范圍內(nèi)的粘度輸入值，以清晰地顯示壓印過(guò)程中的 rlt 變化，通過(guò)使用公式（2）-（4）計(jì) 算當(dāng)前模具圖案的變化，我們發(fā)現(xiàn)在更高的粘度下需要更多的時(shí)間才能達(dá)到零點(diǎn)，并且更高 的壓印壓力導(dǎo)致 rlt 更快地下降。另外，10.0 巴壓印瞬時(shí)速率（即壓力時(shí)間）影響熱變化， 最終決定（圖 2），此外，在相同的壓印壓力下，薄膜狀態(tài)下的粘度具有相當(dāng)大的電子能力（圖 3）圖 2.10.0 巴和 1.0×10