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文檔簡介
1、絕緣柵雙極晶體管(Insulate Gate Bipolar Transistor, IGBT)是一種由場效應晶體管(MOSFET)和雙極型功率晶體管(BJT)結合而成的達林頓結構。它既具有MOSFET的輸入阻抗高、控制功率小、驅(qū)動電路簡單、開關速度高的優(yōu)點,又具有BJT的電流密度大、飽和壓降低、電流處理能力強的優(yōu)點。但是,目前國內(nèi)還沒有商品化的IGBT投入市場,國內(nèi)市場需求的器件主要依賴進口,因此,開發(fā)和研制具有自主知識產(chǎn)權的高性能的
2、IGBT迫在眉睫。
本課題在了解IGBT結構和工作原理的基礎上,從理論上分析了器件結構參數(shù)和器件主要性能之間的關系,由此總結出IGBT主要參數(shù)(閾值電壓、正向擊穿電壓及關斷時間)的設計依據(jù),并依據(jù)此理論完成了IGBT結構參數(shù)設計。有源區(qū)結構選用條狀元胞結構;柵極選用平面柵結構;縱向結構選用穿通型結構。依據(jù)所設計的結構參數(shù),設計工藝流程,選取工藝條件和工藝參數(shù),使用工藝模擬軟件建立IGBT工藝模型。
閾值電壓、正向擊穿
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