真空蒸發(fā)制備稀土摻雜CdTe薄膜及其特性研究.pdf

1、采用真空蒸發(fā)法在玻璃襯底上制備了稀土Nd、Dy摻雜的CdTe薄膜，在氮?dú)鈿夥罩?，分別在300℃、400℃、500℃下對(duì)薄膜進(jìn)行熱處理，并采用X射線衍射儀、X射線光電子能譜儀及紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)對(duì)薄膜的性質(zhì)進(jìn)行了測(cè)試。通過(guò)測(cè)試結(jié)果，分析并優(yōu)化了CdTe薄膜的制備工藝，同時(shí)研究了稀土Nd、Dy摻雜對(duì)CdTe特性的影響。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：高純單質(zhì)鎘與碲按照原子配比Cd：Te=1:0.6混合蒸發(fā)，可制備較理想的純CdTe薄膜。在氮?dú)獗Ｗo(hù)下

2、，經(jīng)過(guò)T=500℃，t=10min的熱處理，可獲得完全為CdTe物相的多晶薄膜；而在較低溫度的熱處理?xiàng)l件下，薄膜中普遍存在富Te的情況，隨著熱處理溫度的升高，薄膜中Te的物相含量逐漸減少，使樣品的晶體結(jié)構(gòu)逐漸趨近于純CdTe的物相。 稀土摻雜對(duì)CdTe薄膜的晶體學(xué)、光學(xué)性質(zhì)產(chǎn)生了明顯影響。摻雜Nd抑制了CdTe的化合，同時(shí)使薄膜中富Te的情況更加嚴(yán)重，而且摻雜Nd使CdTe薄膜具有了沿(111)晶向的擇優(yōu)取向，使薄膜的晶格常數(shù)與