精密運動平臺減振系統(tǒng)設(shè)計與仿真軟件開發(fā).pdf

1、精密運動平臺是IC制造裝備的核心部件，減振系統(tǒng)作為精密運動平臺的一個不可或缺的組成部分，為平臺的平穩(wěn)運行提供超靜環(huán)境保障，因而其設(shè)計成為精密運動平臺設(shè)計中關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。隨著精密運動平臺的運行精度不斷提高達(dá)到了納米級別，專業(yè)仿真分析軟件工具的支持成為減振系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵。由于目前尚缺乏減振系統(tǒng)建模、仿真分析的專用軟件，本文開發(fā)了精密運動平臺減振系統(tǒng)設(shè)計與仿真軟件。本文的主要工作如下：
　　通過對精密運動平臺減振系統(tǒng)設(shè)計過程進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)

2、減振系統(tǒng)建模存在多領(lǐng)域統(tǒng)一建模、高精度、高效率三個關(guān)鍵點。另外，基于文件的減振系統(tǒng)設(shè)計實例管理繁瑣不便，用戶交互性差。針對這兩個關(guān)鍵問題，論文提出了軟件的兩個主要功能需求，即模板庫和實例池；然后設(shè)計了軟件架構(gòu)和數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)；針對軟件的模板庫功能需求，先對減振系統(tǒng)組件進(jìn)行動力學(xué)特性分析，然后在基于 Modelica語言的多領(lǐng)域統(tǒng)一建模平臺MWorks中建立組件的動力學(xué)模型，接著對組件模型進(jìn)行封裝，提取動力學(xué)特征參數(shù)形成組件模板從而建立減振系統(tǒng)

3、模板庫。用戶基于該模板庫能夠快速的搭建減振系統(tǒng)模型同時能夠保證建模的高精度。針對軟件的實例池功能需求，通過對減振系統(tǒng)設(shè)計實例的研究，探明了設(shè)計實例包含的內(nèi)容，并明確了設(shè)計實例中各部分內(nèi)容的關(guān)系模型。同時還研究了設(shè)計實例檢索的方法，為用戶查閱實例和重用實例提供了方便。
　　完成上面的研究工作之后，基于 C++Builder開發(fā)了減振系統(tǒng)設(shè)計與仿真軟件。最后根據(jù)特定的減振系統(tǒng)設(shè)計指標(biāo)，搭建了減振系統(tǒng)模型并進(jìn)行仿真分析，分析結(jié)果表明該模