基于動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅法的各向異性濕法腐蝕工藝和表面形貌仿真研究.pdf

1、論文研究了基于動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅法建立單晶硅濕法腐蝕精確仿真計(jì)算模型的關(guān)鍵技術(shù)，依據(jù)己發(fā)表文獻(xiàn)中和已有的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，利用蒙特卡羅計(jì)算模型實(shí)現(xiàn)了體硅多次掩膜加工復(fù)合工藝的輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)。論文還研究了單晶硅各向異性腐蝕工藝的表面微觀形貌及其規(guī)律，并使用計(jì)算模型對(duì)提出的假設(shè)進(jìn)行了驗(yàn)證。論文主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　 論文首先以單晶硅六個(gè)晶面族分類為背景，分析同一晶面族內(nèi)各晶面表面原子規(guī)律性排列的特點(diǎn)，確定臺(tái)階和臺(tái)地原子的類型，總結(jié)了它們?cè)诟g過(guò)

2、程中對(duì)各向異性速率和表面形貌的作用和影響。
　　 基于動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅方法，在臺(tái)階流動(dòng)(step flow)模型上引入了RPF腐蝕概率方程，確定蒙特卡羅轉(zhuǎn)移概率，擴(kuò)充了研究文獻(xiàn)中的RPF函數(shù)參數(shù)，使其適應(yīng)低濃度下的腐蝕液，在中等和低濃度的加工條件下的計(jì)算結(jié)果符合實(shí)驗(yàn)的結(jié)論。
　　 仿真程序開(kāi)發(fā)中，利用樹(shù)狀結(jié)構(gòu)及變時(shí)間步長(zhǎng)法實(shí)現(xiàn)了動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅的各向異性腐蝕模型，并通過(guò)模擬一個(gè)9步復(fù)合工藝的復(fù)雜硅微加工過(guò)程驗(yàn)證了系統(tǒng)的正確性