基于蒙特卡羅的各向異性濕法腐蝕模擬研究.pdf

1、研究了Metropolis Monte Carlo方法在硅微加工各向異性濕法腐蝕仿真中的應(yīng)用。針對(duì)硅微濕法加工所涉及的關(guān)鍵技術(shù)和實(shí)現(xiàn)方法進(jìn)行了分析。并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了三維腐蝕加工仿真系統(tǒng)。 首先，基于Monte Carlo方法，在臺(tái)階流動(dòng)(step flow)模型上引入了腐蝕概率方程，以一級(jí)鄰居原子和二級(jí)鄰居原子數(shù)量判斷原子類型，確定蒙特卡羅轉(zhuǎn)移概率。編制程序的模擬結(jié)果在不同晶向以及掩模作用下，能與實(shí)驗(yàn)結(jié)果一致，解釋了蒙特卡羅法

2、處理復(fù)雜晶面的原理和應(yīng)用過程。 對(duì)比分析了其它基于原子模型的仿真方法，以凸角補(bǔ)償工程實(shí)例測(cè)試了模型的效率和結(jié)果精度，闡述了Metropolis Monte Carlo方法的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用特點(diǎn)。更進(jìn)一步，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了模擬研究腐蝕中出現(xiàn)的(100)面金字塔凸起、(110)面鋸齒狀條紋以及(111)面三角形凹陷等微觀表面形態(tài)，并支持微加工中表面粗糙度的計(jì)算。 開發(fā)的系統(tǒng)具備描述氧化硅以及氮化硅掩模作用下的各項(xiàng)異性腐蝕過程的能力，實(shí)現(xiàn)