浸液控制系統(tǒng)中通信方案的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、浸沒(méi)式光刻通過(guò)投影物鏡和硅片之間填充高折射率液體，利用液體折射率遠(yuǎn)高于氣體的優(yōu)點(diǎn)來(lái)提高光刻的分辨率，由于浸沒(méi)式光刻對(duì)于干式光刻技術(shù)的繼承性最好，從而受到半導(dǎo)體行業(yè)的高度關(guān)注。在浸沒(méi)式光刻機(jī)中，浸液控制系統(tǒng)是一個(gè)非常重要的分系統(tǒng)，其主要功能是實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)液體的制備以及注入和回收，并將浸沒(méi)液體限定在物鏡和硅片之間，維持穩(wěn)定流動(dòng)和高度潔凈的浸沒(méi)流場(chǎng)。浸液控制系統(tǒng)的功能由超純水分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)和位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)分別完成，當(dāng)浸液控制系統(tǒng)集成到浸沒(méi)

2、式光刻機(jī)主機(jī)中時(shí)，由總控分系統(tǒng)接收光刻機(jī)主機(jī)的信息并控制三個(gè)分系統(tǒng)按照一定時(shí)序要求工作。而通信則是實(shí)現(xiàn)控制的前提，高效可靠的通信是浸液控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)集成最重要的因素之一。
　　本文主要以實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)液體制備、控制與穩(wěn)定浸沒(méi)流場(chǎng)形成的浸液控制系統(tǒng)為研究對(duì)象，對(duì)浸液控制系統(tǒng)中的通信方案進(jìn)行了設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)，具體完成的工作主要有以下幾點(diǎn):
　　1.根據(jù)浸液控制系統(tǒng)對(duì)通信的需求，分析了各分系統(tǒng)的軟硬件環(huán)境，在此基礎(chǔ)上分析了工業(yè)以太網(wǎng)的可行性。

3、進(jìn)一步地，在以太網(wǎng)的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了浸液控制系統(tǒng)中通信的軟硬件架構(gòu)，并提出了幾種提高通信可靠性的方案。
　　2.分析了浸液控制系統(tǒng)中各分系統(tǒng)的工況，進(jìn)行了六種系統(tǒng)狀態(tài)的定義，在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了浸液控制系統(tǒng)內(nèi)部的通信協(xié)議，實(shí)現(xiàn)了浸液控制系統(tǒng)內(nèi)部信息流的具體化。同時(shí)，根據(jù)浸液控制系統(tǒng)對(duì)消息優(yōu)先級(jí)調(diào)度的需求，設(shè)計(jì)了靜態(tài)優(yōu)先級(jí)與動(dòng)態(tài)優(yōu)先級(jí)混合的消息調(diào)度機(jī)制，提高了總控分系統(tǒng)控制的靈活性與消息傳遞的實(shí)時(shí)性。
　　3.在通信框架與通信協(xié)議設(shè)計(jì)