配管工作程序_修_

1、氣體工程技術(shù)部一般氣體SP1配管工作程序1.適用范圍：本程序乃適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作。2.氣體管路的種類：CDAN2O2H2HeAr3.工作范圍：在這里所定義的管線涵蓋范圍由各種不同氣體的起始點(diǎn)連接至主管的Takeoff點(diǎn)。3.1分段點(diǎn)3.1.1主管路（Main）為由氣體的起始流出點(diǎn)（Gasyard）至無塵潔凈室中的第一組分支閥（MainLine）為止。3.1.2次主管（Submain）乃指由無塵潔凈室中

2、之第一組分支閥至第二組分支閥（SubmainLine）止。3.2壓縮干空氣（CDA）對壓縮干空氣而言其管路在氣體流出點(diǎn)處需配有一干燥空氣出口之過濾器整個(gè)管線一直完成至各生產(chǎn)機(jī)臺設(shè)備的連接點(diǎn)為止。3.3氮?dú)猓∟2）分為PN2及GN2:3.3.1PN2：其配管工作由GasYard經(jīng)過氮?dú)饧兓鳎∟2Purifier）至SubmainTakeoff點(diǎn)。3.3.2GN2：其配管工作由GasYard至SubmainTakeoff點(diǎn)。3.4氧氣（O

3、2）分為PO2及GO2:3.4.1PO2：其配管工作由GasYard經(jīng)過氧氣純化器（O2Purifier）至SubmainTakeoff點(diǎn)。3.4.2GO2：其配管工作由GasYard至SubmainTakeoff點(diǎn)。3.5氫氣（H2）分為PH2及GH2:3.5.1PH2：其配管工作由GasYard經(jīng)過氫氣純化器（H2Purifier）至SubmainTakeoff點(diǎn)。3.5.2GH2：其配管工作由GasYard至SubmainTake

4、off點(diǎn)。3.6氦氣（He）分為PHe及GHe:氣體工程技術(shù)部6.1.1兩條管線的尾端焊接主要利用自動(dòng)焊接機(jī)來完成。6.1.2彎頭部份大于及等于15A的管子需使用90的彎頭小于及等于12”的管子則需使用彎管器或90的彎頭。3.1.3.自動(dòng)焊接機(jī)的狀況可藉由制作測試用樣品片來檢查至少每天做一次于早晨焊接工作開始之前。3.2.氣體管材的處理3.2.3.管線與零件的清潔：所有的管子與其零件需于制造后以管帽蓋住開口處、封裝后始可運(yùn)送至現(xiàn)場任何管

5、子與零件在切割及點(diǎn)焊或焊接諸如此類工作之進(jìn)行前需確定其清潔度可維持的情形下始可拆封。6.2.2純度提升的方法：用氬氣來噴洗管線內(nèi)部焊接工作開始進(jìn)行中。（氬氣純度：99.999）。6.2.3點(diǎn)焊：點(diǎn)焊時(shí)將欲焊之兩管中心對準(zhǔn)后沿圓周各點(diǎn)焊3~4處，若發(fā)現(xiàn)欲焊管路二端無法密合或欲焊管子平面錯(cuò)邊時(shí)，應(yīng)立即檢視重新處理。此道工序直接影響焊接的質(zhì)量，需小心謹(jǐn)慎。6.2.4焊道檢查：6.2.4.1外焊道、內(nèi)焊道、氧化等的目檢燒Sample時(shí)的檢查6.

6、2.4.2Sample：1.上午及工作焊接前2.更換管材尺寸前6.2.4.3水平尺：利用水平尺平置于焊接完成管路上，檢查是否有彎曲或錯(cuò)邊等現(xiàn)象。6.3預(yù)先允諾管線行經(jīng)路線:為了避免由焊接工作的過程中因不斷修正而導(dǎo)致的損失，管線所經(jīng)的路線必須先經(jīng)由客戶召集各承包商進(jìn)行套圖，一但經(jīng)業(yè)主確認(rèn)無誤施工后，路線若須變更，則需由業(yè)主會同廠商再次會勘。6.4強(qiáng)制性穿戴手套：在進(jìn)行每一個(gè)操作時(shí)必須穿上干凈無塵膠質(zhì)手套，嚴(yán)禁使用裸手操作。如在施工中手套有

7、破損或有骯臟時(shí)，應(yīng)馬上更換新的無塵手套。7.工作進(jìn)行之步驟：為了維持完成后的潔凈在所訂定之水平內(nèi)，氣體供輸?shù)墓芫€工作必須盡可能地小心去完成。7.1材料檢查材料一經(jīng)遞送到施工單位則必須立即就其訂單規(guī)格來檢驗(yàn)是否合格。7.2臨時(shí)性潔凈棚現(xiàn)場臨時(shí)性潔凈棚其潔凈度較佳，因此所有的預(yù)作管線部份均需在臨時(shí)性潔凈棚內(nèi)進(jìn)行焊接。管線材料則需儲存于庫房中，以便于管理。7.3機(jī)械材料7.4在開始進(jìn)行工作前需先檢查使用的工具是否清潔。7.5每一管線于切割時(shí)必