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1、第五章第五章多晶二維多晶二維X射線衍射射線衍射【教學(xué)內(nèi)容】1布拉格定律和二維X射線衍射設(shè)備。2二維X射線衍射技術(shù)的特點及應(yīng)用。3深度(取向)分辨的立體XRD譜?!局攸c掌握內(nèi)容】1布拉格定律和二維X射線衍射設(shè)備。2二維X射線衍射技術(shù)的特點及應(yīng)用。【了解內(nèi)容】深度(取向)分辨的立體XRD譜?!窘虒W(xué)難點】二維X射線衍射技術(shù)的特點?!窘虒W(xué)目標(biāo)】1了解二維衍射的基本原理,掌握二維衍射技術(shù)。2學(xué)會運用STD技術(shù)進(jìn)行薄膜物相分析和厚度測定。3學(xué)會利用
2、立體XRD譜分析物相縱深變化和取向性,測定界面粗糙度?!窘虒W(xué)方法】以多媒體課堂教學(xué)為主,并通過一定的習(xí)題練習(xí),使學(xué)生了解二維衍射的基本原理,掌握二維衍射技術(shù),學(xué)會運用STD技術(shù)進(jìn)行薄膜物相分析和厚度測定。第一節(jié)第一節(jié)引言一、實空間多晶一、實空間多晶X射線衍射術(shù)概要射線衍射術(shù)概要牛頓對光學(xué)的發(fā)展迄今已300多年,而他的定律、思想和方法仍然具有重大的意義,并服務(wù)于人類。自倫琴發(fā)現(xiàn)X射線百年以來,X射線晶體學(xué)的發(fā)展就是證明明,換言之,X射線晶
3、體學(xué)是在牛頓光學(xué)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。本書旨在根據(jù)X射線二重性的本質(zhì),以及作用于晶體物質(zhì)發(fā)出衍射X射線的現(xiàn)象,綜合近百年來多晶X射線衍射分析的實踐,發(fā)展一些普遍規(guī)律,據(jù)此提出二維X射線衍射理論模型。該模型以一套四位一體的數(shù)學(xué)方程組的形式表現(xiàn)出來,將這套模型用于多晶衍射分析,有效地克服了目前習(xí)慣采用的衍射分析方法的局限性。依據(jù)之套數(shù)學(xué)模型對各種已有的實驗發(fā)現(xiàn)(包括衍射設(shè)備和方法)作合理的歸納和解釋,從而使衍射分析步入新階段。二、二、X射線服
4、從光學(xué)的四大定律射線服從光學(xué)的四大定律X射線是一種波長很短的電磁波,即光波,遵守光學(xué)現(xiàn)象的四個基本定律,光的直線傳播定律,諸光束的獨立性定律,光從鏡面上反射的定律以及光在兩種媒質(zhì)界面上折射的定律。對于這些定律的進(jìn)一步研究表明,第一,這些定律具有遠(yuǎn)比乍看起來要深刻得多的意義;第二,這些定律的應(yīng)用是有限制的,它們只不過是近似的定律而已。諸基本定律對X射線的具體應(yīng)用條件和范圍的確定,表明了對X射線衍射本質(zhì)認(rèn)識的重大進(jìn)步。三、實空間三、實空間X
5、射線晶體學(xué)研究射線晶體學(xué)研究1913年,Ewald根據(jù)Gibbs的倒易空間觀念,提出了倒易點陣的概念以及反射球的構(gòu)造方法。目前仍廣泛用于X射線衍射學(xué)中,這對于解釋各種衍射現(xiàn)象,曾起到極為有益的作用。但是,如果把反射球、倒易球以及由此演化出來的極圖法用來解釋晶體學(xué)中的許多問題,例如取向、織構(gòu)等問題時,則顯得費時旨力,有時甚至得不到預(yù)期的結(jié)果。本書基于對上述諸光學(xué)定律的理解,利用已有明確定義的入射線、衍射(反射)線以及入射角、衍射(反射)角
6、等概念,并結(jié)合晶體學(xué)研究特點,歸納出一套實空間晶體學(xué)坐標(biāo)系。這套坐標(biāo)系不同于通常意義上的三維笛卡兒直角坐標(biāo)系,或者三維尤拉球極坐標(biāo)系,相應(yīng)的角度(坐標(biāo))變量是可以度量或經(jīng)過簡單運算得到的。由此,將來的X射線晶體學(xué)研究會擁有一個簡易而寬松的環(huán)境。再回到衍射設(shè)備的具體問題上,我們把測角儀看成一個閉合空間,X射線進(jìn)入這處閉空間,通過該空間內(nèi)各運動部件的運轉(zhuǎn),與目的物發(fā)生作用之后繼而以衍射X射線強(qiáng)度數(shù)據(jù)輸出?,F(xiàn)在用數(shù)學(xué)模型來代替閉合空間,輸出和
7、運轉(zhuǎn)方式與輸入相對應(yīng)、相符合。這樣,我們的閉合空間是完全清楚、透明的,我們的問題可以在這個實空間里得到解決,而勿須舍些去求另外的什么空間。四、二維四、二維X射線衍射理論概述射線衍射理論概述綜上所述,通過X射線本質(zhì)的認(rèn)識和理解,綜合近一個世紀(jì)以來的衍射分析實踐,我們歸納出一套四位一體的數(shù)學(xué)模型,該模型以布拉格定律為基礎(chǔ),包括衍射線強(qiáng)度方程、方位角方程和掃描模式通式。首先。解釋“二維”的概念。二維就是兩個變量的意思,一個2θ角度變量,另一個
8、是新引進(jìn)的α角度變量,以α和2θ為基礎(chǔ),建立一套數(shù)學(xué)方程組,稱為XMF模型(多功能之意),該模型包括:(1)布拉格方程2dsimθ=nλ;(2)衍射線強(qiáng)度方程式I=J(α,2θ,t)ρ;(3)方位角方程ψ=ψ(α,θ);(4)掃描模式=θ(α)2θ這四個方程組成一個閉合體系。在這個閉合體系中,包括X射線光路、測角儀、探測器和試樣以及它們之間的相互聯(lián)系。需要指出,強(qiáng)度方程中顯含一項晶粒密度(或取向)因子(ρ),對該因子的研究,極好地揭示了
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