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文檔簡介
1、華中科技大學碩士學位論文基于聲表面波技術的輪胎壓力傳感器的研究姓名:陳誠申請學位級別:碩士專業(yè):精微制造工程指導教師:劉勝20070525華中科技大學碩士學位論文IIAbstractWiththerapiddevelopmentofmodernautomobileindustrythepercapitacarownershipisgrowingwithgreatspeed.Ontheotherhmemeexpresswaysareals
2、oingreatdevelopmentsomodernvehicleshavereasontoimprovetheirspeedcontinuously.Asaresulttoensurethesafetyofautomobilesisbecomingincreasinglydeming.Tireisoneofthemajcomponentsofavehicleplaysakeyroleinsteeringconsideringstab
3、ilitycomftsafety.Indertomeettherequisitionofthevehicleinhighspeedimprovementinthequalityperfmanceofthetireisrequireditisalsonecessarytodevelopanequipmentcapableofrealtimemonitingtheconditionofthetire.Onthebasesofoverallr
4、esearchstudyonthecurrentdomesticinternationalTirePressureMonitingSystemsanewkindofTPMSisputfwardbasedonthetechnologyofSurfaceAcousticWavewiththeadvantageofwirelessbatterylesssmallsizehighresolution.TheeticaldesignofSAWse
5、nsswereintroducedmaterialstructuredesignoftheSAWresonataswellasthemanufacturingpackagingmethodwerealsostudiedindepth.Themajresearchissummarizedbelow.FirstonSAWsens:fundamentalwkingprincipleisthoughlyinvestigatedincluding
6、thepropagationacteristicsofRayleighWaves.StructureswkingtheiesofdifferentdevicesbasedonSAWareinvestigated.InadditionfabricationprocessescommonmaterialsusedinSAWareanalyzedSecondondesigningofSAWresonatinpressuresens:there
7、sonatofSAWbasedpressuresensisdesignedindetailincludingthelengthofresonatingcavityparametersofinterdigitaltransducerreflectaswellasthemetalplating.Finiteelementmethodisusedinoptimizingthelocationoftworesonatsonquartzchips
8、.Samplesaremadeaccdingtothedesign.Finallyonpackagingofpressuresens:twolayerTrueAllQuartzpackagingisproposed.Quartzcapsusedastheupperlayerofthesensaredesignedmanufactured.Inadditionlowtemperatureglassfritbondingmethodisap
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