聲表面波傳感器模擬與仿真.pdf

1、隨著聲表面波器件在無線通信和高性能傳感技術(shù)中的應(yīng)用越來越廣泛，對聲表面波器件也提出了更高的要求：響應(yīng)頻率要求更高，更寬的帶寬，更小的尺寸及更低的插入損耗，甚至實現(xiàn)無線傳輸、無線無源傳感。相應(yīng)地，器件的制作也越來越復(fù)雜，隨之而起就更好的性能和模型的預(yù)測與仿真也提出了越來越多的要求。 聲表面波器件仿真不僅能節(jié)省開發(fā)聲表器件開發(fā)成本，縮短開發(fā)周期，而且由于本文中關(guān)于聲表面溫度傳感器的仿真設(shè)計是從理論方法研究入手，更有利于聲表面波傳感器

2、件的開發(fā)。 本文是在關(guān)于聲表面波傳感技術(shù)研究項目的基礎(chǔ)上提出的。首先對壓電理論及聲表面波理論進(jìn)行了研究，接著用四種仿真模型(δ函數(shù)、等效電路、P矩陣和COM耦合模型)以及ANSYS壓電耦合分析方法對聲表面波諧振型溫度傳感器電學(xué)諧振特性：插入損耗和反射特性、傳感器柵模特性以及諧振導(dǎo)納特性進(jìn)行了仿真研究。最后，對在仿真基礎(chǔ)上設(shè)計制作的諧振型溫度傳感器諧振特性進(jìn)行了試驗驗證，驗證了仿真結(jié)果與試驗結(jié)果的一致性以及各種仿真模型和ANSYS