聲表面波傳感器及其接口設(shè)計(jì)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、聲表面波技術(shù)已被應(yīng)用到電子通訊、無線遙感和傳感檢測領(lǐng)域，作為一種多功能傳感器以其靈敏度高、體積小、功耗低等優(yōu)點(diǎn)廣泛地應(yīng)用于眾多物理量、化學(xué)量和生物量的靈敏檢測，聲表面波傳感檢測技術(shù)有著良好的應(yīng)用前景。 本文從聲表面波的聲學(xué)原理入手，簡要介紹了聲表面波傳感器的傳感機(jī)理，及其制作的相關(guān)材料和工藝，重點(diǎn)從δ函數(shù)模型、等效電路模型和耦合模模型(COM)入手分析研究了聲表面波叉指換能器的建模仿真，聲表面波傳感器的界面擾動效應(yīng)理論，在以上理

2、論研究的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)制作了以36°-YXLiTaO3單晶為基底的52MHz和104MHz雙通道水平剪切聲表面波(SH-SAW)傳感器，詳細(xì)論述了聲表面波傳感器的高頻接口設(shè)計(jì)技術(shù)。最后，以Agilent4395A網(wǎng)絡(luò)分析儀為測試工具，通過實(shí)驗(yàn)證明，本文設(shè)計(jì)的聲表面波傳感器及其接口電路的設(shè)計(jì)均達(dá)到了預(yù)期的效果。將聲表面波傳感器及其接口設(shè)計(jì)集成一體的設(shè)計(jì)方法在國內(nèi)達(dá)到先進(jìn)的水平，這種設(shè)計(jì)使得傳感器和接口電路工作性能穩(wěn)定良好。 這些工作

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