大尺寸光學(xué)元件表面疵病檢測(cè)與識(shí)別方法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、對(duì)光學(xué)元件表面疵病進(jìn)行精密檢測(cè)是慣性約束核聚變（ICF）系統(tǒng)急需解決的問題。 根據(jù)ICF工程檢測(cè)要求，構(gòu)建了一套疵病檢測(cè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要由疵病圖像采集子系統(tǒng)和圖像處理子系統(tǒng)組成。圖像采集系統(tǒng)能夠獲取宏觀大視場(chǎng)下全尺寸的高質(zhì)量疵病暗場(chǎng)亮像和微視場(chǎng)下局部位置的疵病顯微圖像，該方案的優(yōu)點(diǎn)是便于后續(xù)顯微疵病與散射疵病對(duì)比研究。 在疵病圖像處理系統(tǒng)中，主要實(shí)現(xiàn)了圖像預(yù)處理、疵病特征提取、分類等功能。針對(duì)疵病尺寸小等特點(diǎn)，在預(yù)處理過(guò)

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