超光滑表面疵病檢測與圖像處理技術(shù)的研究.pdf

1、本文主要研究了受中國航天電子技術(shù)研究院委托所研制的超低損耗陀螺光腔專用調(diào)節(jié)設(shè)備，其實質(zhì)是設(shè)計一套超光滑表面元件疵病檢測系統(tǒng)。針對本系統(tǒng)中的硬件結(jié)構(gòu)設(shè)計和圖像處理技術(shù)，本文進(jìn)行了以下幾方面的研究:
　　在超光滑表面疵病檢測系統(tǒng)的硬件方面，搭建了一套數(shù)字CCD顯微激光散射暗場成像及圖像采集和計算機(jī)處理系統(tǒng)，為對細(xì)微疵病進(jìn)行分辨，研究了對超光滑反射鏡進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)的全方位疵病成像，研究了對待測元件的掃描式成像，獲得了適于計算機(jī)進(jìn)行圖像

2、處理的子孔徑疵病圖像。在全孔徑疵病圖像的拼接方面，研究了項目中所運(yùn)用的快速平移拼接算法，考慮到其它類型疵病的特征以及提高圖像拼接的準(zhǔn)確度，研究了基于圖像重疊區(qū)域疵病特征相關(guān)性的匹配拼接算法。針對全孔徑疵病圖像的逆旋轉(zhuǎn)歸位研究了適于項目檢測的以圖像任意一點(diǎn)為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的算法，最后以或運(yùn)算的方式將逆旋轉(zhuǎn)后的全孔徑疵病圖像進(jìn)行疊加。在對疵病信息進(jìn)行提取和定位方面，首先研究了對疵病圖像進(jìn)行噪聲濾波、二值化增強(qiáng)以及數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作的預(yù)處理，并