基于線光源掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病檢測.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩68頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、ICF激光驅(qū)動器中用到成千上萬各種口徑的光學(xué)元件，如果這些光學(xué)元件存在氣泡、雜質(zhì)等內(nèi)部疵病時，會嚴重影響光學(xué)系統(tǒng)的性能，甚至?xí)p壞光學(xué)元件，造成不可估量的損失。因此，研究一種能夠自動檢測光學(xué)元件內(nèi)部疵病的方法，具有重要的意義。
　　本課題正是在這樣的背景下提出來的，在分析了傳統(tǒng)方法檢測效率低、檢測樣品口徑有限、易漏檢等不足之后，根據(jù)米氏散射理論，利用Matlab軟件進行了單粒子散射光強度分布的仿真，根據(jù)仿真結(jié)果提出了幾種內(nèi)部疵病檢

2、測的可能方案。在分析上述方案利弊的基礎(chǔ)上，提出了一種基于掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病的檢測方法。在暗場環(huán)境下，利用線光源對待測玻璃側(cè)面進行照射，利用高分辨率CCD相機從待測玻璃的正面進行拍攝，經(jīng)過圖像拼接得到全口徑的疵病圖像，提出了精掃描的方法得到疵病精確的z坐標，最后獲取待測玻璃內(nèi)部疵病的空間分布、粒度統(tǒng)計等定量分析結(jié)果。
　　為了驗證本方法的可靠性，將實驗結(jié)果與顯微鏡測量的結(jié)果進行對比，結(jié)果表明本文提出的基于掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病檢

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論