微細銑削撓性器件薄壁梁研究.pdf

1、帶薄壁梁結(jié)構(gòu)和高深寬比特征的微型撓性器件是撓性擺式加速度計和振梁加速度計的重要元件，其具有體積小、精度高、靈敏性好等優(yōu)點。但是，微型薄壁梁零件因其微米級的尺度特征，加工過程中零件裝夾困難，薄壁梁部分易產(chǎn)生變形、微毛刺，較大的表面較粗糙和加工層硬化。針對以上問題，本文重點研究了微型薄壁零件加工過程中變形和毛刺產(chǎn)生的機理，并改進了加工工藝改善表面粗糙度和加工表面的特性。
　　首先建立微細銑削加工薄壁梁過程中的力學(xué)模型并研究其變形特點。

2、通過分析薄壁梁加工過程中的變形撓性曲線，得出薄壁梁的弱剛度是其變形的重要原因。提出構(gòu)建輔助支撐結(jié)構(gòu)抑制薄壁梁變形的方法，輔助支撐材料的選擇要求，最終通過加工試驗驗證了上述方法的可行性。
　　其次研究微細銑削過程中微毛刺的產(chǎn)生機理。刀尖圓弧在工件邊界的負剪切效應(yīng)是毛刺產(chǎn)生的重要原因，提出了構(gòu)建犧牲層來控制和阻止毛刺產(chǎn)生的方法，使毛刺最終產(chǎn)生在犧牲層上。加工結(jié)束后將犧牲層從工件表面上去除，得到?jīng)]有微毛刺的零件。
　　然后研究影響