微細(xì)電解銑削加工精度控制問(wèn)題研究.pdf

1、隨著微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展,微型零部件在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛。微細(xì)電解加工技術(shù)是一種新興的微細(xì)加工技術(shù)，具有加工表面質(zhì)量好、無(wú)殘余應(yīng)力、工具電極無(wú)損耗等優(yōu)點(diǎn)，在微型零部件的制造方面具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)與很好地應(yīng)用前景。
　　微型腔和微型槽（穿透或不穿透）是一些微型傳感器和執(zhí)行器的核心結(jié)構(gòu)之一。微型腔和微型槽的加工精度和表面質(zhì)量對(duì)微型傳感器和執(zhí)行器的產(chǎn)品性能有著重要的影響。在微細(xì)電解銑削的過(guò)程中，由于雜散腐蝕的存在，微型腔和微型槽的加工精度

2、經(jīng)常難以保證。本文針對(duì)此問(wèn)題，基于實(shí)驗(yàn)室的微細(xì)電解加工設(shè)備和控制程序，從脈沖電源、電解液和工藝設(shè)計(jì)等方面，詳細(xì)研究了提高和控制微型腔和微型槽的尺寸精度和形狀精度的方法。
　　加工間隙是微細(xì)電解加工中衡量雜散腐蝕影響程度的核心指標(biāo)。研究中首先通過(guò)多組加工實(shí)驗(yàn)，重點(diǎn)研究了加工參數(shù)(脈沖幅值、脈沖頻率、脈沖寬度、主軸轉(zhuǎn)速)對(duì)微型腔的加工間隙、表面質(zhì)量以及材料去除速率的影響規(guī)律，同時(shí)探討了采用中性鹽溶液作為電解液進(jìn)行微細(xì)電解加工的可行性。

3、研究結(jié)果表明，隨著加工過(guò)程中脈沖能量的增大，微細(xì)電解加工的加工間隙隨之增大，雜散腐蝕隨之嚴(yán)重，材料去除速率也隨之提高；主軸轉(zhuǎn)速在超過(guò)一定的轉(zhuǎn)速后，對(duì)微細(xì)電解加工的影響并不明顯；在納秒脈沖電源條件下，酸性電解液比中性電解液更能滿(mǎn)足微細(xì)電解加工的要求。
　　在上述研究工作的基礎(chǔ)上，研究中還通過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的多組實(shí)驗(yàn)，先后加工54個(gè)微型槽，分別研究了脈沖幅值、脈沖頻率、脈沖寬度、分層厚度以及電解液濃度對(duì)微型槽加工精度的影響，以及通過(guò)改加工變