一種準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng).pdf

1、本論文以準(zhǔn)分子激光微加工為基礎(chǔ)，詳細(xì)闡述了集準(zhǔn)分子激光微加工、準(zhǔn)分子激光微加工同軸顯微鏡、一維可同步調(diào)節(jié)線寬掩膜系統(tǒng)于一體的準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)的原理和構(gòu)成及相關(guān)的實驗結(jié)果。論文主要內(nèi)容包括以下幾個方面： 1.概述了本課題的提出背景，對于當(dāng)前應(yīng)用的準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)進(jìn)行了研究，分析了本課題的可行性。 2.對將準(zhǔn)分子激光微加工同顯微鏡的結(jié)合進(jìn)行了設(shè)計和探討，并進(jìn)行了相關(guān)的設(shè)計，在顯微鏡的基礎(chǔ)上設(shè)計了本準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)

2、。 3.對系統(tǒng)中所采用的53X正置金相顯微鏡進(jìn)行結(jié)構(gòu)解析，并對其結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改造和重新設(shè)計，分別包括光學(xué)結(jié)構(gòu)和物理結(jié)構(gòu)的設(shè)計和改造，使其符合本系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)要求。 4.對系統(tǒng)中的掩膜部分進(jìn)行了修改和重新設(shè)計，詳細(xì)闡述了可以實現(xiàn)在加工過程中同步變化的掩膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計過程和實現(xiàn)方法，實現(xiàn)一位同步變化線寬的復(fù)雜圖形(如梯形、三角形等)的微細(xì)加工。 5.通過相關(guān)的實驗，得出所要加工的圖形，并通過實驗數(shù)據(jù)統(tǒng)計和分析，論證本準(zhǔn)分

3、子激光微加工系統(tǒng)的加工工藝水平。 隨著本系統(tǒng)的設(shè)計完成和實現(xiàn)，它提供了一種準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)和加工方式，通過對顯微鏡的相關(guān)改造，實現(xiàn)了準(zhǔn)分子激光微加工同顯微鏡的結(jié)合。同時，通過從新設(shè)計和實現(xiàn)一維可變線寬的掩膜系統(tǒng)，實現(xiàn)了一維可變線寬準(zhǔn)分子激光微加工。 本課題采用理論分析與實踐相結(jié)合的研究方法，將整個系統(tǒng)進(jìn)行了模塊化劃分，分別對每一個模塊進(jìn)行設(shè)計和實現(xiàn)，再通過整合，完成整個系統(tǒng)。提高了準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工的工藝精度和加工復(fù)