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文檔簡介
1、該研究以微機(jī)電系統(tǒng)為背景,針對(duì)與微摩擦密切相關(guān)的表面形貌問題展開實(shí)驗(yàn)研究和理論分析.該研究選擇微機(jī)械構(gòu)件的高密度能量束微細(xì)加工方法中的準(zhǔn)分子激光加工方法和常用材料,構(gòu)造出表面微觀形貌,揭示其表面形貌特征和表征方法,以及表面形貌與準(zhǔn)分子激光和工工藝之間的相關(guān)關(guān)系.該研究對(duì)準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工方法及加工工藝進(jìn)行了開發(fā)研究.首次采用紫外波長為248mm的準(zhǔn)分子激光對(duì)微機(jī)械構(gòu)件常用的陶瓷、硅和金屬材料表面進(jìn)行了微細(xì)加工,構(gòu)造出準(zhǔn)分子激光加工表面微
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