準(zhǔn)分子激光光闌法加工微透鏡的工藝研究.pdf

1、微透鏡是微光學(xué)系統(tǒng)中最為重要的光學(xué)元件之一。在微光學(xué)系統(tǒng)中，用有機(jī)微透鏡代替?zhèn)鹘y(tǒng)微透鏡，能夠起到改善并優(yōu)化微光學(xué)系統(tǒng)性能的作用，這些微光學(xué)系統(tǒng)性能包括：微光學(xué)系統(tǒng)尺寸、微光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量、微光學(xué)系統(tǒng)成本等。在本論文中，對自主設(shè)計(jì)的一種新的有機(jī)微透鏡加工方法，即準(zhǔn)分子激光光闌法，進(jìn)行了微透鏡加工工藝研究，取得了較好的結(jié)果，所加工出的微透鏡尺寸為Φ80um-Φ120um、F數(shù)為0.8-6.3。由于準(zhǔn)分子激光光束質(zhì)量較低，因此在準(zhǔn)分子激光光路中引

2、入了一組擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、兩組復(fù)眼透鏡陣列和匯聚透鏡作為準(zhǔn)分子激光均束器，對準(zhǔn)分子激光進(jìn)行均束處理。準(zhǔn)分子激光在經(jīng)過了準(zhǔn)分子激光均束器后變換為一能量分布均勻的光斑。并且，通過對投影光刻系統(tǒng)(包括掩模和縮小投影物鏡)和光闌的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了使用準(zhǔn)分子激光光闌法加工微透鏡。在使用準(zhǔn)分子激光光闌法加工微透鏡的過程中，通過改變掩模和光闌的形狀尺寸，能夠控制微透鏡的形狀尺寸；通過改變準(zhǔn)分子激光加工脈沖個(gè)數(shù)和準(zhǔn)分子激光拋光脈沖個(gè)數(shù)，能夠控制微透鏡的表面形貌。