雙光柵干涉位移計(jì)的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代制造向高精方向發(fā)展,滿足一般實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)條件下的高精密、大量程的位移測量和校準(zhǔn)面臨著緊迫的需求。為此,本文研究了一種基于雙光柵干涉原理的高精密、大量程位移計(jì)。
　　該位移計(jì)基于雙光柵干涉原理,采用半導(dǎo)體激光器作為光源,衍射光柵柵格間距作為測量基準(zhǔn),因而具有大量程、高分辨率的特點(diǎn);同時(shí)結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、體積小,具有強(qiáng)的抗干擾能力和良好的穩(wěn)定性,因此能夠滿足一般實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)條件的需要,具有一定的應(yīng)用前景。
　　本文研究了雙光柵

2、干涉位移測量原理,設(shè)計(jì)了簡單、緊湊的光路布局結(jié)構(gòu),給出了光電接收的理論推導(dǎo),討論了光電接收器的放置方法。采用滾柱導(dǎo)軌副來實(shí)現(xiàn)光柵副的相對運(yùn)動,形成了穩(wěn)定的位移計(jì)機(jī)械結(jié)構(gòu),而且導(dǎo)軌副成對使用,可以減小導(dǎo)軌的誤差影響,降低了機(jī)械部分的加工要求和成本。采用單穩(wěn)四細(xì)分辨向電路來辨別位移計(jì)的位移方向,并在辨向的基礎(chǔ)上完成信號的四細(xì)分。設(shè)計(jì)了基于單片機(jī)的信號采集、處理和數(shù)顯系統(tǒng),通過對兩路正交正弦波信號的采集、A/D轉(zhuǎn)換和軟件細(xì)分處理,可以有效的提