一種雙光柵干涉位移傳感器的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代制造朝著高精密方向發(fā)展，滿足一般實驗和生產(chǎn)條件下的低成本、方便實用的高精密位移計量測試手段和測量傳感器面臨緊迫的需求。
　　 本文研究一種基于雙光柵干涉原理位移傳感器。由于衍射干涉的采用，該傳感器具有大量程、高分辨率與高精度，同時由于是雙光柵干涉，其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，具有良好的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力，因而適合一般實驗和生產(chǎn)條件下高精密位移測量需要。
　　 本文對雙光柵干涉進行了深入研究，導出了雙光柵干涉位移測量的基

2、本原理，在此基礎(chǔ)上，完成了雙光柵干涉位移傳感器系統(tǒng)的設(shè)計，包括機械系統(tǒng)設(shè)計和信號處理電路設(shè)計，并構(gòu)建了系統(tǒng)實驗裝置，該裝置由半導體激光器、雙光柵干涉單元、位移導向機構(gòu)、干涉條紋光電接收與信號處理電路、計數(shù)細分與位移數(shù)顯單元等，其設(shè)計測量范圍達15mm，分辨力達0.01μm。論文對影響系統(tǒng)精度特性的主要因素，包括機械、光學、電氣因素進行了分析。
　　 最后，利用建構(gòu)的實驗裝置，對系統(tǒng)進行了測試實驗。初步實驗結(jié)果顯示系統(tǒng)易于實現(xiàn)良好