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文檔簡介
1、光柵線位移傳感器主要用于數(shù)控機床和精密儀器的位置檢測和閉環(huán)反饋控制，其檢測精度直接決定了數(shù)控機床的整體精度。近年來，國內(nèi)對光柵線位移傳感器的研究主要集中在高精度母板制造技術(shù)、長光柵制造技術(shù)、絕對編碼技術(shù)、單場掃描技術(shù)等，對其溫度特性、機械結(jié)構(gòu)研究較少，而光柵線位移傳感器的溫度特性和機械結(jié)構(gòu)對其測量精度有較大影響。
本文首先分析了光柵線位移傳感器精度的影響因素，尤其是溫度特性和機械結(jié)構(gòu)，然后從光柵尺、傳動結(jié)構(gòu)、彈性連接、外觀和防
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