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1、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在現(xiàn)代精密機(jī)械和科學(xué)研究領(lǐng)域占有至關(guān)重要的地位,其加工的精度嚴(yán)重影響著定位精度。柔性鉸鏈?zhǔn)且环N利用柔性結(jié)構(gòu)本身來產(chǎn)生彈性變形,特點(diǎn)是重量輕、加工裝配時(shí)間短,可以減少機(jī)構(gòu)的間隙和摩擦潤(rùn)滑等問題。
本文結(jié)合長(zhǎng)春光機(jī)所使用的美國(guó)NYGO公司生產(chǎn)的白光干涉儀new-view精密平臺(tái)現(xiàn)實(shí)中存在的問題,以精密微位移水平移動(dòng)臺(tái)為研究對(duì)象,利用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)對(duì)平臺(tái)的精密定位進(jìn)行探討研究,并采用精密運(yùn)動(dòng)與粗運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相結(jié)合的方式滿足平臺(tái)
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