Zygo干涉儀及其應(yīng)用的研究.pdf

1、干涉測量技術(shù)是以光波干涉原理為基礎(chǔ)進行測試的一門技術(shù)?，F(xiàn)代干涉測量技術(shù)采用激光作光源并且綜合了光學(xué)和電子學(xué)的最新成就，具有量程大、分辨率高、抗干擾能力強、測量精度高等特點，另外隨著科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展，現(xiàn)代工業(yè)對測量要求越來越高，其他方法已難以勝任，因此在現(xiàn)代工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。 目前已經(jīng)有幾家致力于干涉儀產(chǎn)品的生產(chǎn)和研制的著名廠家，美國Zygo公司就是其中之一。本實驗室的Zygo數(shù)字波面干涉儀是85年從Zygo公司購進的，屬Fi

2、seau型等厚干涉儀，可用于進行各種形狀及各種復(fù)雜程度的實時干涉圖形和干涉圖片的快速測量。其關(guān)鍵部件包括MARKⅢ干涉儀，干涉條紋處理器和一個控制終端，并備有許多附件，來滿足不同測量需要。但因配套軟件缺乏、采集系統(tǒng)性能和處理功能落后，已無法滿足現(xiàn)在測量需要。本論文的主要目的是以此Zygo干涉儀為依托，設(shè)計以干涉條紋圖像為對象的圖像采集系統(tǒng)和圖像處理軟件，構(gòu)建一套現(xiàn)代干涉測量系統(tǒng)，以滿足當前測量需要。本論文完成以下幾項工作：1)針對干涉圖

3、像，設(shè)計以CMOS圖像采集芯片為核心的高性能圖像采集系統(tǒng)，包括系統(tǒng)硬件和控制軟件。 2)以干涉原理為基礎(chǔ)、開發(fā)一種新的干涉圖處理方法。 3)根據(jù)干涉圖像特點，設(shè)計干涉圖像處理軟件，完成對干涉條紋圖像的讀取、處理和交互式數(shù)據(jù)輸出。 4)擴展干涉儀的用途，運用現(xiàn)有的干涉測量系統(tǒng)，完成利用干涉法測量熱圓柱體表面溫度的研究。 工作創(chuàng)新性表現(xiàn)在：1)設(shè)計了基于EPP接口的圖像采集系統(tǒng)，并將其應(yīng)用于干涉測量系統(tǒng)中。