加速計嵌入式激光自混合干涉位移補償技術的研究.pdf

1、基于光反饋效應的自混合干涉技術是近年來興起的一項精密測量技術。自混合干涉測量技術具有結構簡單、測量精度高、易于準直及非接觸性等顯著優(yōu)點。在位移、振動等測量方面得到了廣泛的應用。運用駐波理論及多光束干涉的思想，建立了三鏡腔模型及Lang-Kobayashi方程法理論模型，獲得了光反饋條件下激光器輸出功率的數(shù)學表達式，對基于條紋計數(shù)法的任意位移信號的恢復算法進行了深入的研究。
　　本文提出了加速計嵌入式激光自混合干涉位移補償技術。激光

2、自混合干涉技術雖然已經成功用于位移的測量，但它和傳統(tǒng)的傳感器一樣需要保持激光器固定。這樣的情況限制了自混合干涉測位移技術在實際情況中的應用。為了突破這個限制，將加速度計和激光器耦合在一起，讓激光器和目標靶鏡同時振動。對得到的信號進行處理得到目標靶鏡的實際位移。經實驗證明，加速度計耦合自混合干涉測量系統(tǒng)能夠穩(wěn)定運行，可以較好得重構出目標靶鏡的振動波形。克服了激光器需要被固定的限制，為激光自混合干涉測量向智能化，便攜化提供了發(fā)展思路，具有廣