全自動(dòng)劃片機(jī)控制軟件的研究與開(kāi)發(fā).pdf

1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，集成電路芯片種類(lèi)越來(lái)越多，精度要求越來(lái)越高，晶圓尺寸也越來(lái)越大，對(duì)劃片機(jī)控制軟件要求也越來(lái)越高，需要控制軟件做到界面友好，操作簡(jiǎn)單，靈活性強(qiáng)，兼容性高，同時(shí)還需要具備自動(dòng)識(shí)別對(duì)準(zhǔn)功能。 本文以全自動(dòng)劃片機(jī)的控制軟件的設(shè)計(jì)為目標(biāo)，文中確定了控制軟件的整體設(shè)計(jì)方案以及模塊化的設(shè)計(jì)思想，并采用面向?qū)ο蟮木幊碳夹g(shù)完成控制軟件的設(shè)計(jì)。主要包括以下幾個(gè)內(nèi)容的研究： 分析劃片機(jī)控制軟件的實(shí)際需求，確定整體軟件

2、設(shè)計(jì)基于WIN2000操作系統(tǒng)，并采用模塊化的設(shè)計(jì)思想，分布式的控制理念，提高控制軟件的硬件無(wú)關(guān)性。 基于面向?qū)ο蟮臄?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)以及采用類(lèi)模板編程方法實(shí)現(xiàn)切割數(shù)據(jù)靈活的工藝適應(yīng)能力，能夠滿足目前幾乎所有復(fù)雜加工工藝的需求。 采用分布式控制方法提高運(yùn)動(dòng)控制效率，采用光柵尺閉環(huán)控制的方法提高運(yùn)動(dòng)軸定位精度，采用比例+前饋增益的方法消除了機(jī)械系統(tǒng)的位置響應(yīng)滯后的問(wèn)題，提高了系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)速度及定位精度。 通過(guò)對(duì)劃片機(jī)