半導體制造企業(yè)中“瓶頸”設備的故障預測.pdf

1、半導體制造企業(yè)中設備的運行狀態(tài)對企業(yè)的生產(chǎn)能力影響重大。由于半導體生產(chǎn)設備造價昂貴，制定合理的預防性維修計劃，降低設備故障停機時間，提高設備利用率是提高企業(yè)生產(chǎn)能力、降低生產(chǎn)成本的一種有效途徑。
　　本文基于某跨國半導體封裝測試工廠的生產(chǎn)實際，通過提出科學評判設備性能的關鍵指標，量化生產(chǎn)線上各站點的設備性能，實現(xiàn)對“瓶頸”站點以及該站點中的“瓶頸”設備的判定。
　　本文從對生產(chǎn)線上“瓶頸”設備的故障停機時間的分析展開，提出設

2、備故障評估的新指標——設備不可用度，以設備不可用度的實際歷史數(shù)據(jù)為研究對象，采用箱線圖的第三四分位值替換序列中的極值點，并提出用8階移動平均法將原數(shù)據(jù)序列處理為零均值的平穩(wěn)隨機序列。將差值序列作為輸入數(shù)據(jù)，采用時間序列分析法中的AR模型進行建模和預測，結(jié)果表明AR模型適合于經(jīng)轉(zhuǎn)換后的設備故障停機時間的數(shù)據(jù)建模，預測值的平均絕對誤差為2.73％，預測結(jié)果較好。
　　本文同時對設備故障的發(fā)生類別進行統(tǒng)計分析，基于歸納推斷理論，提出采用