半導(dǎo)體制造企業(yè)中“瓶頸”設(shè)備的故障預(yù)測(cè).pdf

1、半導(dǎo)體制造企業(yè)中設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)對(duì)企業(yè)的生產(chǎn)能力影響重大。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備造價(jià)昂貴，制定合理的預(yù)防性維修計(jì)劃，降低設(shè)備故障停機(jī)時(shí)間，提高設(shè)備利用率是提高企業(yè)生產(chǎn)能力、降低生產(chǎn)成本的一種有效途徑。
　　本文基于某跨國(guó)半導(dǎo)體封裝測(cè)試工廠的生產(chǎn)實(shí)際，通過(guò)提出科學(xué)評(píng)判設(shè)備性能的關(guān)鍵指標(biāo)，量化生產(chǎn)線上各站點(diǎn)的設(shè)備性能，實(shí)現(xiàn)對(duì)“瓶頸”站點(diǎn)以及該站點(diǎn)中的“瓶頸”設(shè)備的判定。
　　本文從對(duì)生產(chǎn)線上“瓶頸”設(shè)備的故障停機(jī)時(shí)間的分析展開(kāi)，提出設(shè)

2、備故障評(píng)估的新指標(biāo)——設(shè)備不可用度，以設(shè)備不可用度的實(shí)際歷史數(shù)據(jù)為研究對(duì)象，采用箱線圖的第三四分位值替換序列中的極值點(diǎn)，并提出用8階移動(dòng)平均法將原數(shù)據(jù)序列處理為零均值的平穩(wěn)隨機(jī)序列。將差值序列作為輸入數(shù)據(jù)，采用時(shí)間序列分析法中的AR模型進(jìn)行建模和預(yù)測(cè)，結(jié)果表明AR模型適合于經(jīng)轉(zhuǎn)換后的設(shè)備故障停機(jī)時(shí)間的數(shù)據(jù)建模，預(yù)測(cè)值的平均絕對(duì)誤差為2.73％，預(yù)測(cè)結(jié)果較好。
　　本文同時(shí)對(duì)設(shè)備故障的發(fā)生類別進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，基于歸納推斷理論，提出采用