半導體晶圓制造中批加工設備調度研究.pdf

1、半導體晶圓制造中批加工設備具有多重入、高不確定性等復雜特性，屬于生產過程中瓶頸設備。研究對象包括從“單件加工設備”至“批加工設備”（δ→β）和從“批加工設備1”至“批加工設備2”（β1→β2）兩種基本類型。批加工設備的良好調度算法有助于提高半導體晶圓制造的整體生產效益。研究內容包括δ→β類型中批加工設備β的批排序調度；β1→β2類型中批加工設備β2的重組批和批排序調度；平行批加工設備的批派工調度。研究方法及研究成果如下：
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2、）“面向重入族”的δ→β類型中批加工設備β的批排序調度研究
　　利用批加工設備“重入”特性，提出“面向重入族”的δ→β類型中批加工設備β調度的研究方法，既克服“面向批次”方法的缺陷，又對不同重入族賦予不同權重，符合工程實際需求。針對復雜生產過程中許多不確定的因素，以及“按片投料，按周交貨”工程實際生產運行方式，提出“時間窗交貨期下”的δ→β類型中批加工設備β的批排序調度研究方法，既克服“時間點交貨期下”的δ→β類型中批加工設備β的

3、批排序調度受“不確定的因素”影響，又符合工程實際情形。研究成果包括時間點交貨期下“面向重入族”的δ→β類型中批加工設備β的批排序混合整數線性規(guī)劃調度模型；不確定時間窗交貨期下δ→β類型中批加工設備β的批排序混合整數線性規(guī)劃調度模型等。
　?。?）在“一個聯(lián)合模型”中實現β1→β2類型中批加工設備β2的重組批和批排序調度研究
　　針對β1→β2類型中批加工設備β2調度中“重組批”的特殊要求，提出將批加工設備β2的“重組批”和“

4、批排序”融合在“一個聯(lián)合模型”中實現的研究方法。在滿足調度模型復雜度要求下，提高調度運算執(zhí)行效率。研究成果包括β1→β2類型中批加工設備β2的重組批及批排序混合整數線性規(guī)劃調度模型等。
　?。?）“面向重入族”的平行批加工設備的批派工調度研究
　　針對中出現同時需要批派工及裝載的空閑可用批加工設備的數量大于或等于1的情形，以拉動策略、推動策略為驅動，研究平行批加工設備的批派工調度算法。β1→β2類型中批加工設備β2調度具有重