基于真空機(jī)器人的直驅(qū)電機(jī)控制方法的研究.pdf

1、當(dāng)今世界，一個(gè)國(guó)家半導(dǎo)體行業(yè)的先進(jìn)程度顯示了這個(gè)國(guó)家高新技術(shù)的先進(jìn)程度。而用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的真空機(jī)器人（真空機(jī)械手）負(fù)責(zé)在不同的生產(chǎn)工序（各制造腔體）中搬運(yùn)晶圓的任務(wù)，作用不可或缺。目前國(guó)外對(duì)真空機(jī)械手進(jìn)行技術(shù)封鎖，我國(guó)真空機(jī)械手研究嚴(yán)重滯后。而在真空機(jī)械手的真空腔內(nèi)，為了達(dá)到高精度、高速度、無(wú)污染、免維護(hù)的要求，首先需要減小占用的空間，其次需要簡(jiǎn)化傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以減小累積誤差，這樣使用帶有減速箱的電機(jī)就不能滿足要求，這就提出了對(duì)直接驅(qū)動(dòng)方式的

2、要求。
　　 由于直接驅(qū)動(dòng)方式減去了中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，不僅提高了系統(tǒng)的機(jī)械剛度，也消除了機(jī)械因素對(duì)速度和加速度的限制，這是有可能獲得比原來(lái)更高的定位精度和更好的動(dòng)態(tài)性能。但是，直接驅(qū)動(dòng)也同時(shí)存在缺點(diǎn)，首先，需要高精度的電機(jī)與位置傳感器，系統(tǒng)成本高；其次，中間環(huán)節(jié)的取消后，系統(tǒng)對(duì)外部干擾和負(fù)載擾動(dòng)更敏感。因此，直接驅(qū)動(dòng)對(duì)控制系統(tǒng)提出了更高的要求：要求控制系統(tǒng)具有很強(qiáng)的抗擾動(dòng)能力。
　　 本論文對(duì)真空機(jī)械手所使用的永磁同步直驅(qū)電