IC缺陷檢測(cè)的直線電機(jī)高精度定位控制.pdf

1、高速高精運(yùn)動(dòng)控制是電子制造裝備的核心技術(shù)之一。在IC芯片的封裝與檢測(cè)中，隨著芯片尺寸的減小，生產(chǎn)率要求的提高，封裝設(shè)備的加速度、速度和定位精度要求越來(lái)越高。這給運(yùn)動(dòng)控制器的設(shè)計(jì)提出了極大的挑戰(zhàn)。
　　本文首先介紹了直線電機(jī)和相關(guān)控制技術(shù)的基本原理、發(fā)展歷史及其分類，接著介紹了當(dāng)前應(yīng)用于永磁同步電機(jī)的主要的控制策略，以及本文所采用的控制策略，具體分析了控制框圖和所采用的一些控制方法。再接著介紹了IC缺陷檢測(cè)平臺(tái)的搭建及XY直線電機(jī)平

2、臺(tái)控制系統(tǒng)的構(gòu)成。然后利用直線電機(jī)的動(dòng)力學(xué)特性建立了基本的數(shù)學(xué)模型，通過(guò)頻率響應(yīng)法對(duì)平臺(tái)的X、Y軸分別做了參數(shù)辨識(shí)，并研究了該辨識(shí)方法的準(zhǔn)確性與應(yīng)用價(jià)值。
　　接下來(lái)介紹了一種利用重復(fù)學(xué)習(xí)的控制算法，利用重復(fù)學(xué)習(xí)，逐步提高位置控制精度。由于該 X-Y定位平臺(tái)是做重復(fù)運(yùn)動(dòng)，在相鄰的運(yùn)動(dòng)周期中，使用重復(fù)學(xué)習(xí)控制算法（Iterative Learning Control——ILC）來(lái)調(diào)整軌跡命令，而控制器采用級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu)，并在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中控制