高速高精度平面定位平臺的研究.pdf

1、隨著移動互聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，IC產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)也得到了迅速發(fā)展，從而對于IC設(shè)備的需求也日益增加。但是國內(nèi)的設(shè)備主要依靠進口，同時，高端設(shè)備對我國禁運，從而導(dǎo)致成本增加。因此，展開對高速高精度平面定位平臺的研究具有深遠的戰(zhàn)略意義。
　　本文首先通過對現(xiàn)有的高速高精度機構(gòu)進行分析研究，依據(jù)半導(dǎo)體封裝設(shè)備的任務(wù)要求及技術(shù)指標(biāo)，采用一種適應(yīng)于高速高精場合的平面2自由度并聯(lián)機器人。采用閉環(huán)矢量法對機構(gòu)的運動學(xué)進行詳細地分析推導(dǎo)，得到其正解及逆解

2、，在此基礎(chǔ)之上，對機構(gòu)的速度及加速度特性進行研究，根據(jù)其任務(wù)要求規(guī)劃定位平臺的速度加速度，并分析定位平臺的工作空間。
　　基于雅克比矩陣對高速高精度平面定位平臺的靈巧度和奇異性等運動學(xué)特性進行研究，分析機構(gòu)的奇異特性，為后期規(guī)避奇異位型做理論基礎(chǔ)?；谘趴吮染仃嚱㈧`巧度的性能指標(biāo)，研究不同構(gòu)型下定位平臺的靈巧度分布特性，從而選擇合適的機構(gòu)構(gòu)型。
　　基于拉格朗日方法建立高速高精度平面定位平臺的剛體動力學(xué)模型，并利用MATL

3、AB進行數(shù)值仿真分析其動力學(xué)特性。在剛體動力學(xué)的基礎(chǔ)上建立機器人的彈性動力學(xué)，并應(yīng)用精細積分法求取末端定位平臺的動態(tài)響應(yīng)的數(shù)值解，研究定位平臺的彈性變形對于定位精度的影響，并研究其固有頻率特性，達到避開激振頻率的目的。
　　深入研究了混沌理論，并將其應(yīng)用于機器人的參數(shù)優(yōu)化。通過對現(xiàn)有的幾種典型的混沌序列的遍歷性進行比較研究，提出遍歷性的指標(biāo)，比較各個混沌序列的優(yōu)劣性，選擇適用于混沌優(yōu)化的序列，對現(xiàn)有的混沌優(yōu)化算法進行分析研究，分析