MISFET型溶解CO-,2-傳感器的研制與特性分析.pdf

1、溶解CO<,2>的檢測(cè)被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、食品、水處理、環(huán)境檢測(cè)等諸多方面。目前測(cè)定溶解CO<,2>的常用方法有：滴定法和電極法等。滴定法是通過(guò)一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)來(lái)測(cè)量水中溶解的CO<,2>，測(cè)量時(shí)間很長(zhǎng)，不是連續(xù)實(shí)時(shí)的測(cè)量方法，而且容易受到其他離子的干擾。電極法是一種電化學(xué)的方法，雖然可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，但是CO<,2>電極不是全固態(tài)器件，體積較大，透氣膜需要定期更換。因此，溶解CO<,2>傳感器的小型化和固態(tài)化成了研究的熱點(diǎn)。有研究表明

2、，CO<,2>會(huì)引起一些金屬氧化物及固體電解質(zhì)等的功函數(shù)發(fā)生變化。本文根據(jù)該特性并結(jié)合MISFET 轉(zhuǎn)換器，采用鉑糊成膜的工藝，將超微細(xì)Pt粉及敏感材料混合并研磨均勻，用生物石蠟作為粘合劑，制成的MISFET型溶解CO<,2>傳感器具有小型化、固態(tài)化、功耗低、靈敏度高和響應(yīng)速度快的特點(diǎn)，并且能在室溫下工作。該型傳感器為溶解CO<,2>的快速、高效、準(zhǔn)確的檢測(cè)提供了一種新工具。 本文通過(guò)分析CO<,2>的液相吸附，根據(jù)物理吸附與化