射頻激勵(lì)CO-,2-激光器信號檢測電路的分析與設(shè)計(jì).pdf

1、射頻激勵(lì)CO2 激光器具有輸出功率大、光束質(zhì)量好、電光轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，而且發(fā)射的激光波長適合大氣傳輸，因此在工業(yè)激光加工領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。 要實(shí)現(xiàn)射頻激勵(lì)CO2 激光器長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，必須對激光器關(guān)鍵信號采取精確的檢測與控制。本文旨在分析設(shè)計(jì)激光器微機(jī)測控系統(tǒng)的檢測系統(tǒng)部分，實(shí)現(xiàn)對激光器的精確、穩(wěn)定、智能化檢測，確保激光器高效穩(wěn)定運(yùn)行。 本文主要研究工作如下： （1）分析了射頻激勵(lì)CO2 激光器的工作

2、原理和結(jié)構(gòu)組成，并在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了激光器測控系統(tǒng)的整體方案。 （2）從理論和實(shí)驗(yàn)上分析了高功率激光束引起的鏡片熱變形及其對光束質(zhì)量的影響，針對激光器溫度檢測對象多的特點(diǎn)提出了多點(diǎn)溫度檢測方案，并對溫度傳感器NTC和熱補(bǔ)償元件PTC 進(jìn)行了詳細(xì)的選型說明，最后設(shè)計(jì)了合理的溫度檢測電路和鏡片加熱電路。 （3）針對射頻電源等效電壓電流直接檢測難度大的特點(diǎn)，采用了等效匹配網(wǎng)絡(luò)分析算法來間接檢測，并提出了利用伏安特性曲線來觀察電源