高功率CO-,2-激光器功率實時檢測與控制.pdf

1、激光功率是高功率激光器中最主要的參量，激光輸出功率嚴(yán)重地影響著激光加工的質(zhì)量。在激光加工過程中, 如果能實時監(jiān)控激光功率的變化,提高激光功率穩(wěn)定性和控制精度, 對于提高產(chǎn)品合格率有著極其重要的作用。 為此，設(shè)計了一種新穎的高功率激光實時檢測與控制裝置。該系統(tǒng)由兩部分組成:一部分是激光功率采樣單元，這一部分主要由介質(zhì)全反鏡、積分球、探測器及信號處理電路組成。另一部分是光功率反饋控制單元,主要由單片機(jī)系統(tǒng)和PID控制器組成。

2、 采樣單元利用尾鏡即全反鏡的透射光進(jìn)行激光采樣。通?？祉憫?yīng)的光電器件如光電型和熱釋電探測器的損傷閾值為單位面積毫瓦量級，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于待測值，為保護(hù)探測器不被損傷，本設(shè)計中利用積分球首先對光強(qiáng)進(jìn)行衰減，然后再對光參量進(jìn)行精確測試。當(dāng)被測激光通過積分球入口進(jìn)入經(jīng)漫反射處理的球內(nèi)后，在球內(nèi)壁多次漫反射從而在球內(nèi)表面上形成均勻光強(qiáng)分布，且與入射光成線性關(guān)系，在積分球出口處放置光電探測器測量此處的光功率，即可得到輸出激光功率值,從而獲得采樣信號。光