高功率CO-,2-激光器射頻電源分析和設(shè)計(jì).pdf

1、射頻電源作為激光的功率來(lái)源，是激光器的一個(gè)重要組成部分。本文旨在開(kāi)發(fā)高功率CO2激光器的射頻電源系統(tǒng)，重點(diǎn)對(duì)振蕩和功放電路、阻抗匹配及功率控制等關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究，并從理論和制作工藝兩個(gè)方面完成了射頻電源的理論分析和設(shè)計(jì)。論文的主要內(nèi)容包括： (1) 結(jié)合激光器對(duì)射頻電源的技術(shù)要求，確定了射頻電源的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，并采用了自激式射頻電源的設(shè)計(jì)方案。 (2) 在自激式射頻電源總體結(jié)構(gòu)的框架下，進(jìn)行了射頻電源的電路設(shè)計(jì)，重點(diǎn)分析了振蕩

2、和功放電路、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)及功率控制電路的工作原理。在振蕩和功放電路部分，詳細(xì)計(jì)算了回路元件參數(shù)和電子管的工作參數(shù)。在阻抗匹配部分，根據(jù)傳輸功率最大化的原則，確定了共軛阻抗匹配的設(shè)計(jì)方案，并給出了匹配設(shè)計(jì)的一般方法。在功率控制部分，采用了脈寬調(diào)制（PWM）方式，實(shí)現(xiàn)了脈沖和連續(xù)方式下，脈沖頻率和激光功率的實(shí)時(shí)控制。 (3) 在電源的工藝設(shè)計(jì)方面，分析了電路元件選擇、元件排列布置、布線和焊接的基本原則和具體方法。同時(shí)，根據(jù)射頻電路發(fā)熱