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文檔簡介
1、大連理工大學博士學位論文KBAX射線顯微鏡研究姓名：趙玲玲申請學位級別：博士專業(yè)：信號與信息處理指導教師：胡家升20060701KBAX射線顯微鏡研究AnaIysiSofKBAx_rayMicroscopeAbstractInthelatestyears，xmyimagingtechnologyhasdevelopedfastinordertomeettheneedofxrayphotoetchingspatialexploration
2、technology，highenergyphysics，procedurediagnosisofinertialconfinementfusionOct)etcSincerefractiveindexofmaterialsinthexmyregionislowerthan1，andxrayisstronglyabsorbedbythematerials，itisverydifficulttoimageobjectsinthexmyre
3、gionConventionalimagingmethodsarehardlysuitabletoxrayrangeGenerally，grazingreflectiveimagingandcodingapertureimagingmethodshavebeenadoptedmoreandmoreInthisarticlethenoncoaxialKBAxraymicroscopeworkingatgrazingincidenceisd
4、iscussedindetailInviewofthespecialstructureofKBAmicroscopewehavecompiledanopticalcomputingprogramforthesystemUsIngthisprogramwetracealargenumberofraysFromthepointofviewofopticaldesign，wemakeanalysisofthestructure，aberrat
5、ionsimagingqualityandtoleranceofKBAmicroscopeWeprovidealargenumberofcomputationdataofKBAmicroscopeandthesedataarethebasisformachiningandmountingKBAmicroscopeInthispapermainworksareasfollow：(1)AnalysisofKBAmicroscopestruc
6、tureFocallengthimagingandreflectingcharacteristicsofKBAmicroscopearestudiedRationalityofKBAstructureisanalyzedandprogramforitiscompiled(2)AnalysisofKBAaberrationsAstigmatism，fieldobliquitysphericalaberrationandoomaareana
7、lyzedusingtheprogamtotracenumerousraysneresultsshowthatKBAisanastigmaticandfieldobliquitybecomesseverewithfieldalteringlargerinimagespaceSincetherearenovariationsforcorrcctiongaberrations，spericalaberrationandcomastillex
8、istHowevercomparingtoKB，aberrationsarereducedgreatly(3)AnalysisofKBAmicroscopeimagingquality孔cresultsofcompleteevaluationandanalysisofimaginguseingspotdiagramencircledenergyandMTFillustratethatthissystemconformstotherequ
9、irements，andsatisfiestheresolutionoftheneed∽AnalysisofKBAmicroscopeparameterserrorChangingofsystemparameterssuchasmirrorradiusanglebetweenbimirrorgrazingincidentangleaffectgaussparametersandaberrations(suchasimagingdista
10、nce，astigmatism，blurdiagrammultipleandMTnThealteringsoftheseparametersreduceimagingqualityFabricationandassemblytolerancesaremadeaccordingtotheallowedqualityreducti∞oftheuser(5)AnalysisofKBAreflectivityWithinsoftx—rayran
11、gethroughcalculationKBAmicroscopereflectivityoftwoselectivefabricationmethods，theeffectofroughnessonreflectivityatgrzingineedentisanalyzedItcallbethetheoreticaldependenceofKBAfabricatonAnalysisshowsthatKBAmicroscopeisan一
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