掃描電子顯微鏡x射線能譜儀(semeds)

1、掃描電子顯微鏡X射線能譜儀(SEMEDS)美信檢測(cè)掃描電子顯微鏡X射線能譜儀（SEMEDS）是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。SEMEDS正是

2、根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息，對(duì)x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。電子束激發(fā)樣品表面示意圖應(yīng)用范圍：1材料組織形貌觀察，如斷口顯微形貌觀察，鍍層表面形貌觀察，微米級(jí)鍍層厚度測(cè)量，粉體顆粒表面觀察，材料晶粒、晶界觀察等。2微區(qū)化學(xué)成分分析，利用電子束與物質(zhì)作用時(shí)產(chǎn)生的特征X射線，來提供樣品化學(xué)組成方面的信息，可定性、半定量檢測(cè)大部分元素（Be4PU94），可進(jìn)行表面污染物的分