二維PSD自動(dòng)對(duì)焦非球面測(cè)量系統(tǒng).pdf

1、隨著非球面元件的廣泛應(yīng)用和非球面加工技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)代工業(yè)對(duì)非球面元件的面形參數(shù)檢測(cè)提出了更高的要求。本文是在線陣光電敏感器件PSD的測(cè)量平臺(tái)基礎(chǔ)上利用面陣PSD進(jìn)行三維非球面測(cè)量，以PSD做為傳感器件，光柵尺做為精密測(cè)量工具，設(shè)計(jì)自動(dòng)對(duì)焦非球面測(cè)量系統(tǒng)；進(jìn)行了自動(dòng)對(duì)焦鏡頭的設(shè)計(jì)，PSD信號(hào)處理電路及數(shù)據(jù)采集的設(shè)計(jì)，光柵尺信號(hào)采集的設(shè)計(jì)，自動(dòng)對(duì)焦控制軟件的設(shè)計(jì)及相關(guān)誤差分析；實(shí)現(xiàn)了對(duì)焦鏡頭在自動(dòng)對(duì)焦過(guò)程中的非球面測(cè)量；達(dá)到非球面元件的非接

2、觸精密測(cè)量的要求。主要內(nèi)容如下： (1)介紹了當(dāng)前主要的非球面檢測(cè)方法，自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用，非接觸測(cè)量光電器件的發(fā)展。 (2)詳細(xì)說(shuō)明面陣PSD自動(dòng)對(duì)焦非球面測(cè)量系統(tǒng)的原理，自動(dòng)對(duì)焦光路的設(shè)計(jì)及各器件的選擇、自動(dòng)對(duì)焦的方法的優(yōu)化。 (3)設(shè)計(jì)了PSD信號(hào)處理及采集電路，光柵辨向計(jì)數(shù)電路及各模塊與PC的通訊設(shè)計(jì)。 (4)闡述了測(cè)量系統(tǒng)中各個(gè)模塊的組成及特性。 (5)設(shè)計(jì)了自動(dòng)對(duì)焦測(cè)量系統(tǒng)的兩個(gè)