非球面測量技術(shù)與數(shù)據(jù)處理方法研究.pdf

1、針對現(xiàn)有各種非球面測量方法存在的問題，提出一種基于高分子微球的坐標(biāo)測量新方法，將聚苯乙烯微球附著在被測表面上，通過測量微球坐標(biāo)得到非球面輪廓。為消除顯微物鏡景深對測量范圍的限制，將一束激光會聚于微球上，激光束被微球兩次折射后成為準(zhǔn)球面波，與另一束作為基準(zhǔn)的平面波干涉，產(chǎn)生環(huán)形干涉條紋，測量干涉條紋中心位置，確定微球的坐標(biāo)；在二維標(biāo)尺上測量環(huán)形干涉條紋中心的位置，徹底消除了機(jī)械導(dǎo)軌直線度誤差引起的測量誤差；采用直徑一致的微球?qū)嵨飿?biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測

2、量，消除了微球直徑不一致引起的測量誤差。 為按實(shí)測值計算、分析光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，提出計算非球面光軸的算法、給出坐標(biāo)變換公式，并導(dǎo)出從坐標(biāo)測量值計算標(biāo)準(zhǔn)形式非球面方程的算法，解決了因光學(xué)設(shè)計軟件只認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)非球面方程，不認(rèn)坐標(biāo)，導(dǎo)致無法按實(shí)測值計算像差和光學(xué)傳遞函數(shù)的問題；通過實(shí)例證明算法本身產(chǎn)生的誤差與測量誤差相比，可以忽略不計，并得出在一定測量誤差意義下非球面方程表達(dá)式不唯一的結(jié)論。作為非球面測量新技術(shù)的跨學(xué)科應(yīng)用實(shí)例，提出一種