三坐標(biāo)輪廓測量儀檢測非球面研究.pdf

1、非球面，即與球面有偏離的表面，已經(jīng)越來越廣泛地應(yīng)用于各種光學(xué)系統(tǒng)中。非球面相比球面而言具有一系列的優(yōu)點(diǎn)，例如：改善像質(zhì)、校正像差、擴(kuò)大視場和增大作用距離等，同時(shí)還能夠使光學(xué)系統(tǒng)小型化、輕量化。作為非球面光學(xué)系統(tǒng)之一的離軸非球面系統(tǒng)不僅能夠在最大程度上提高系統(tǒng)分辨率，增大視場角 ，而且還進(jìn)一步減輕系統(tǒng)的尺寸和重量。特別是空間光學(xué)的快速發(fā)展,要求空間傳感器的分辨率越來越高，視場角也要求越來越大，離軸非球面將成為光學(xué)系統(tǒng)中必不可少的元器件之一

2、。
　　然而近年來，非球面檢測水平的滯后越來越成為制約非球面發(fā)展的重要因素之一。雖然非球面的檢測方法有很多，但都存在著各自不同的局限性。本文針對非球面，尤其是離軸非球面的測量問題，探討了三坐標(biāo)輪廓測量儀（CMM）檢測非球面的方法，主要進(jìn)行了以下幾方面工作：
　　1、介紹幾種常用的非球面檢測方法，著重總結(jié)和歸納了利用三坐標(biāo)輪廓測量儀檢測非球面的思路與方法。
　　2、對三坐標(biāo)輪廓測量儀檢測非球面的原理進(jìn)行了詳細(xì)的分析，并在