硅基電容式三軸加速度傳感器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、合肥工業(yè)大學碩士學位論文硅基電容式三軸加速度傳感器研究姓名：王守明申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：許高斌20100401ResearchofTriAxisSiliconCapacitiveAccelerationSensorAbstractComparedwiththetraditionalaccelerometers，Micromachinedaccelerometershaveavarietyofapplica

2、tionsinmanyfieldsduetotheirlowcost，smallsizeandlightweightThepresentthesisisconcernedabouttheinvestigationofanovelmicromachinedtriaxiscapacitiveaccelerometerincludingtheoperatingprinciple，design，fabricationprocessThefund

3、amentalworkingprinciples，thekineticequationandthefrequencycharacteristicofaccelerometerareanalyzedatfirstThroughtheanalysisontheairdamping，thedampingfactorofsqueezedfilmdampingisfoundtobemuchhigherthanthatofslidefilmdamp

4、inginthecommonmicromachinedaccelerometerInordertoincreasetheresolutionandlinearitytheauthordesignedavariablegapcombshapedcapacitiveaccelerometerAccordinglythecross—couplingbetweenthevariousaxeswereanalyzedtosolvethehoriz

5、ontalinterferenceforthemultiaxisaccelerometertheoreticallyThesensitivityofthetri—axiscapacitiveaccelerometerX，YZwas112pF儋，108pF／g，6pF／grespectivelyAndthemicrodisplacementwasO42pm、0406pm、O28pmAlso，theaccelerometerWassimul

6、atedtobecapableofresistingtheimpactofanti一50009ThispapermainlyexpoundsmicronanofabricationtechnologiesThestructureisdesignedtodesearchonrouesofthecombcapacitiveaccelerometerbulksiliconprocessflowandalsoinvolvedintheproce

7、ssofprocessingthesiliconanisotropicetching，Siliconglassanodicbonding，DeepreactiveionetchingProcessingoftheaccelerometerisgiveninthepreparationprocessofthekeytechnicalissuesthatmayariseKeywords：MEMS：CapacitiveAcceleromete

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