基于MEMS的三軸加速度傳感器研制.pdf

1、基于MEMS技術(shù)生產(chǎn)的微機械壓阻式加速度計具有制作工藝簡單、溫度系數(shù)小、穩(wěn)定性好、阻尼系數(shù)容易控制等優(yōu)點，因而得到了廣泛的應(yīng)用。因此，對其進行研究具有重要的理論意義及應(yīng)用價值。
　　首先，本文介紹了幾種常見的基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器，并分析了其測量原理。以國外性能優(yōu)良的MEMS加速度傳感器為基礎(chǔ)，自主設(shè)計外圍輔助電路，包括基準(zhǔn)電源設(shè)計、低通濾波器的選用、信號的放大和調(diào)理工作，自主研發(fā)出性能可靠的MEMS三軸加速度傳感器，并對

2、實際應(yīng)用中的安裝工藝和抗干擾問題進行了專門的研究。
　　其次，本文對所設(shè)計的三軸加速度傳感器進行了可靠性分析和設(shè)計。依據(jù)可靠性理論，把電子設(shè)備抽象為不可修復(fù)系統(tǒng)的串聯(lián)結(jié)構(gòu)，并計算整個傳感器的可靠度和平均壽命。然后進行了故障模式影響分析和降額設(shè)計，這些措施對于完善設(shè)計，預(yù)防和糾正可能發(fā)生的錯誤將起到非常有效的作用。
　　最后，對樣機進行了靈敏度、線性度、幅頻特性等各項性能測試，驗證傳感器是否滿足設(shè)計要求的性能指標(biāo)，并通過溫度循