2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩214頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、本文采用自制MOCVD系統(tǒng)對(duì)Al2O3(0001)及Si(111)襯底上ZnO薄膜材料的生長進(jìn)行了研究,并研究了Al2O3(0001)襯底上ZnO薄膜經(jīng)HCl、H2SO4、NaOH及H2O2溶液濕法處理后的表面、結(jié)構(gòu)及發(fā)光特性以及退火對(duì)ZnO薄膜性質(zhì)的影響。所獲得的具有創(chuàng)新和有意義的研究結(jié)果如下: 1、采用自制MOCVD系統(tǒng)研究了Al2O3(0001)襯底上ZnO薄膜材料的生長,且摸索了部分最佳生長條件。低溫緩沖層的最佳生長溫度

2、為150~200℃,最佳厚度約為100nm,外延層的最佳生長溫度范圍為600~700℃。 2、系統(tǒng)地研究了ZnO薄膜被稀HCl或H2SO4溶液刻蝕后的表面和發(fā)光特性。研究結(jié)果發(fā)現(xiàn)ZnO薄膜被這些溶液刻蝕后表面較平整,在干涉顯微鏡下沒有觀察到明顯的腐蝕坑。首次研究了ZnO薄膜被稀HCl和H2SO4溶液濕法刻蝕后的室溫PL譜特性。研究結(jié)果表明,稀HCl和H2SO4對(duì)ZnO的發(fā)光性質(zhì)沒有明顯的影響,且10K下的低溫PL譜測(cè)試結(jié)果也表明

3、,pH≈4的HCl對(duì)ZnO的激子發(fā)光影響很小。這些研究結(jié)果為將來ZnO-LED的濕法刻蝕工序提供了一定的參考。 3、首次研究了ZnO薄膜被NaOH及H2O2溶液處理后的表面、結(jié)構(gòu)和發(fā)光特性。研究結(jié)果表明:高純H2O2溶液在一定時(shí)間內(nèi)能將ZnO薄膜表面的一些污物清洗掉而使表面光滑平整;而ZnO薄膜被NaOH溶液處理后表面出現(xiàn)平整或直線裂紋兩種現(xiàn)象,通過此現(xiàn)象討論了NaOH溶液刻蝕ZnO薄膜的機(jī)理。NaOH和H2O2溶液對(duì)ZnO薄膜

4、的深能級(jí)發(fā)光具有相似的效應(yīng),即具有強(qiáng)的525nm綠光的ZnO原生樣品經(jīng)NaOH或H2O2溶液處理后,強(qiáng)的525nm綠光將大大減弱,并移至500nm附近;而沒有明顯深能級(jí)峰的ZnO原生樣品經(jīng)NaOH或H2O2溶液處理后,也總是在500nm附近出現(xiàn)弱的綠光。這些研究結(jié)果對(duì)探討525nm和500nm綠光的起源提供了依據(jù),并對(duì)將來ZnO-LED制作過程的清洗和濕法刻蝕具有一定的參考價(jià)值。 4、退火研究結(jié)果發(fā)現(xiàn):700℃以下,退火氣氛對(duì)Z

5、nO膜的深能級(jí)發(fā)光影響較大;超過700℃后,退火溫度對(duì)ZnO薄膜的發(fā)光影響大,但退火氣氛影響不太明顯。通過退火對(duì)ZnO薄膜發(fā)光特性的影響,并結(jié)合H2O2和NaOH溶液室溫下對(duì)ZnO薄膜深能級(jí)發(fā)光的影響。本文認(rèn)為525nm綠光可能起源于氧空,而500nm綠光可能與不穩(wěn)定的Zn-O鍵有關(guān),這點(diǎn)與文獻(xiàn)的結(jié)論不同。 5、首次采用常壓MOCVD法,在Si襯底上引入過渡Al層生長ZnO外延膜。所獲得的ZnO薄膜的質(zhì)量與目前文獻(xiàn)報(bào)道的最好結(jié)果

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論