工業(yè)生產(chǎn)中多晶硅電池的疊層鈍化和去背結(jié)的研究.pdf

1、化石燃料的使用加劇了環(huán)境問題的惡化，各種綠色新能源呼之欲出。太陽能作為一種干凈的可再生能源，越來越受到人們的青睞。
　　本論文所研究的多晶硅太陽能電池跟單晶硅太陽能電池比較，生產(chǎn)成本較低，特別是在采用了先進(jìn)的氮化硅鈍化和體內(nèi)吸雜以后，其能量轉(zhuǎn)換效率等各方面特性跟單晶硅太陽能電池都比較接近。而工業(yè)生產(chǎn)更注重它帶來的經(jīng)濟(jì)效益。本論文著重在于工業(yè)生產(chǎn)多晶硅太陽電池鈍化方面的研究，實(shí)驗均在生產(chǎn)線上，大批量的實(shí)驗數(shù)據(jù)為生產(chǎn)工藝提供重要的參考

2、依據(jù)。
　　本論文研究了用管式PECVD制備的SiNxHy膜、SiNxOy膜及其疊層鍍膜對多晶硅鈍化的影響。
　　首先，使用工業(yè)管式PECVD設(shè)備制備SiNxHy膜，并比較多層膜與單層膜的減反射效果。結(jié)果顯示，最佳多層膜為三層膜，且其反射率為5.7，而單層膜的反射率高達(dá)7.4。跟蹤大量實(shí)驗數(shù)據(jù)得到效率方面三層膜比單層膜提高0.12％。
　　其次，調(diào)整三層膜沉積過程中NH3：SiH4流量比，比較其對折射率、少子壽命及其電

3、性能參數(shù)的影響。結(jié)果顯示，隨著硅烷量的增加，短路電流明顯呈上升趨勢；最佳鈍化比為NH3：SiH4流量比為3900:980。
　　第三，增加工業(yè)管式PECVD設(shè)備笑氣的氣流源，制備SiNxOy膜并研究了各項工藝參數(shù)對膜色的影響。通過笑氣與硅烷的混合氣體沉積硅片表面，比較沉積時間、硅烷與笑氣流量比對電性能參數(shù)的影響。結(jié)果顯示最佳鈍化效果，三層膜的沉積時間分別為85s、355s、220s，第一層硅烷、氨氣比為4.5，SiH4：N2O=3