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1、換熱器是將溫度較高熱流體的部分熱量傳遞給冷流體,從而降低熱流體的溫度的設(shè)備,又稱為熱交換器。換熱器由于所處工作環(huán)境不同,換熱介質(zhì)的物理,化學(xué)性質(zhì)差異較大,其損壞形式也不同,但90%以上是由于腐蝕而引起的。換熱器大都是由金屬材料制成,且大都在高溫高壓的條件下工作,跟換熱介質(zhì)直接接觸,混合進(jìn)行熱量交換,腐蝕問題相當(dāng)嚴(yán)重。多晶硅生產(chǎn)中所用換熱器為立式固定管板式,管束介質(zhì)為三氯氫硅,管程介質(zhì)為循環(huán)冷卻水,在使用過程中由于管程內(nèi)外介質(zhì)壓力的不同,
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