表面彈性波馬達(dá)的研究與設(shè)計(jì).pdf

1、該論文以理論分析、計(jì)算機(jī)仿真和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法,研究了表面彈性波馬達(dá)技術(shù).主要的研究工作總結(jié)如下:通過對(duì)不同介質(zhì)中的彈性波方程和表面彈性波邊界條件的研究,對(duì)各向同性、各向異性以及壓電介質(zhì)中的表面彈性波行為進(jìn)行了詳細(xì)的討論.首次探討了用瑞利波近似表面彈性波馬達(dá)定子換能器(厚度遠(yuǎn)大于表面彈性波波長(zhǎng))平板振動(dòng)模式的有效性.探討了表面彈性波馬達(dá)三種可能的接觸傳動(dòng)機(jī)理,并以表面彈性波馬達(dá)動(dòng)子速度與驅(qū)動(dòng)電壓呈線性的關(guān)系,首次證實(shí)了表面彈性波馬達(dá)的工

2、作原理是接觸摩擦傳動(dòng).以計(jì)算球體—平面擠壓形變的赫茲公式和計(jì)算摩擦力的庫侖定律為基礎(chǔ),建立了表面彈性波馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)模型.并用Euler數(shù)值計(jì)算方法對(duì)不同工作條件下的表面彈性波馬達(dá)暫態(tài)響應(yīng)做了仿真,揭示了各種因素對(duì)表面彈性波馬達(dá)運(yùn)行的影響.詳細(xì)介紹了該課題組首次提出的用原子力顯微鏡微探針與光束偏轉(zhuǎn)法測(cè)量納米振動(dòng)的新方法.并用這種方法在激振電壓峰峰值為3.5V時(shí),對(duì)壓電材料LiNbO<,3>表面彈性波進(jìn)行了實(shí)時(shí)測(cè)量,得到表面彈性波振幅約為6.