微結(jié)構(gòu)表面的五軸聯(lián)動超精密切削加工技術(shù)研究.pdf

1、精密及超精密加工技術(shù)是20世紀五、六十年代發(fā)來起來的一項新興技術(shù)，近年來，航空航天、微機電系統(tǒng)、微光學系統(tǒng)、激光等高科技領(lǐng)域的飛快發(fā)展極大的推動了精密及超精密加工技術(shù)的前進步伐，使其成為當前各國家和地區(qū)的研究熱點。同時，超精密加工產(chǎn)品廣泛應用于各個領(lǐng)域，也加速了相關(guān)領(lǐng)域發(fā)展速度，也帶動了精密加工設備——超精密數(shù)控加工機床的發(fā)展。然而，由于發(fā)達國家對我國的技術(shù)封鎖，中國的超精密機床，特別是多軸聯(lián)動超精密機床的發(fā)展受到很大程度的制約。

2、>　　為了滿足國家對超精密零部件的巨大需求以及多軸聯(lián)動超精密機床的基礎研究，本課題開展了面向微結(jié)構(gòu)表面的五軸聯(lián)動超精密切削加工技術(shù)的研究。旨在通過對五軸聯(lián)動超精密機床的相關(guān)技術(shù)研究，來進行典型零件的加工實驗，探索多軸聯(lián)動超精密切削加工過程中相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)。
　　超精密機床的控制系統(tǒng)是整個機床的核心部分，所以本課題的主要任務之一就是搭建數(shù)控機床的控制系統(tǒng)，這主要包括機床電氣控制系統(tǒng)接口電路的設計，以及驅(qū)動伺服系統(tǒng)的電氣調(diào)試，以提高各軸

3、的動、靜態(tài)性能。
　　PAMC控制器本身的操作界面可視性效果很差，繁雜難懂，本文基于Visual Basic. Net開發(fā)了一套操作更為簡單易學、更為靈活的人機交互操作界面。同時為了進一步提高此臺超精密機床的定位精度，對機床的定位精度進行了誤差檢測，并在此基礎上進行了誤差補償?shù)墓ぷ鳌?br>　　在以上工作完成的基礎上，進行大量的加工實驗研究，如加工回轉(zhuǎn)對稱的正弦波表面、球面，非回轉(zhuǎn)對稱的正弦網(wǎng)格表面，以及微金字塔陣列。針對不同的表