有支撐鈀釔合金滲氫膜制備技術(shù)及表面吸附行為理論研究.pdf

1、該文在多孔不銹鋼表面修飾技術(shù)研究中,分別對(duì)漿料涂敷法和溶膠-凝膠法制備非對(duì)稱多孔不銹鋼膜的工藝技術(shù)進(jìn)行了研究,利用TEM和SEM分別對(duì)納米不銹鋼粉末、TiO<,2>溶膠顆粒和微孔不銹鋼載體及非對(duì)稱膜的表觀形貌進(jìn)行了表征,采用AP90透氣儀對(duì)不銹鋼載體及非對(duì)稱膜的干空氣滲透率進(jìn)行了測(cè)量.用漿料涂敷法,將納米不銹鋼粉末沉積在多孔不銹鋼載體上,形成孔徑依次減小的微孔不銹鋼載體,其孔徑約為200nm左右,在壓差為0.1MPa時(shí),其干空氣滲透率約

2、為200cm<'3>/cm<'2>·min.經(jīng)溶膠-凝膠法,在微孔不銹鋼載體上沉積TiO<,2>薄膜,其孔徑約為100nm,在壓差為0.1MPa時(shí),其干空氣滲透率約為80cm<,3>/cm<,2>·min.在鈀釔合金膜離子束輔助沉積工藝研究中,于離子束輔助沉積實(shí)驗(yàn)裝置上,分別采用Pd、Y、Sn、Pd、Pd-8Y作為濺射靶,系統(tǒng)地研究了薄膜濺射沉積速率與沉積條件的關(guān)系,首次得到了Pd、Y、Pd-8Y沉積速率與濺射束流和時(shí)間的關(guān)系式,探討了

3、濺射沉積的機(jī)理.采用SEM和AFM分析了薄膜的表觀形貌及微結(jié)構(gòu),利用臺(tái)階儀和RBS分析了薄膜厚度,分別用XRD、SAM和XPS研究了薄膜的成分及薄膜表面的吸附行為.該論文通過實(shí)驗(yàn)研究解決了微孔不銹鋼表面修飾、非對(duì)稱性膜制備、鈀釔合金膜離子束輔助沉積等一系列關(guān)鍵技術(shù),建立了以非對(duì)稱性微孔不銹鋼膜為支撐體沉積鈀釔合金膜的制備工藝,為鈀釔合金膜在氫同位素的純化與分離及其它領(lǐng)域的應(yīng)用奠定了技術(shù)基礎(chǔ),通過理論研究,對(duì)鈀釔合金膜在應(yīng)用中可能由于雜質(zhì)